申请/专利权人：湖南艾科威智能装备有限公司

申请日：2020-06-10

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN111621847B

主分类号：C30B29/06

分类号：C30B29/06;C30B31/06;H01L21/677;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2020.09.29#实质审查的生效;2020.09.04#公开

摘要：本发明公开一种水平可调节推舟系统及应用该系统的低压扩散炉，该系统包括座板、承载立板、驱动装置、传动机构、凸轮随动器、交叉滚子轴承和夹持装置；其中，承载立板的一端开设有横置的腰型孔，传动机构包括丝杠和连接块，丝杠连接驱动装置的输出轴，连接块与丝杠套接，凸轮随动器的侧部设置有一凸台，凸台与腰型孔适配，交叉滚子轴承的内圈与底板固定、外圈嵌入承载立板，夹持装置包括夹持固定板、第一夹持机构和第二夹持机构。本发明提供的推舟系统可调节桨的角度，使桨在石英管内取、放载满石英舟过程中，桨前后两端同时与石英舟底部接触、均匀受力，减小桨与石英管及石英舟刮擦的风险，结构简单、运行可靠，有利于降低生产维护成本。

主权项：1.一种水平可调节推舟系统，其特征在于，包括：座板，垂直放置；承载立板，平行于所述座板放置，所述承载立板的一端开设有横置的腰型孔；驱动装置，竖直设置于所述座板和承载立板之间，且连接所述座板；传动机构，包括丝杠和连接块，所述丝杠连接所述驱动装置的输出轴，所述连接块与所述丝杠套接；凸轮随动器，连接所述连接块，且所述凸轮随动器的侧部设置有一凸台，所述凸台与所述腰型孔适配；交叉滚子轴承，其内圈与底板固定，其外圈嵌入所述承载立板相对设置有所述腰型孔的另一端；夹持装置，包括夹持固定板、第一夹持机构和第二夹持机构，所述夹持固定板连接所述承载立板背离所述座板的一侧，所述第一夹持机构和所述第二夹持机构设置于所述夹持固定板的底侧，所述第一夹持机构和所述第二夹持机构用于分别夹持扩散炉的桨；其中，还包括自动控制装置，所述自动控制装置包括智能控制器和应变采集装置，所述应变采集装置设置于所述夹持装置上且与所述第一夹持机构的上表面相接，所述智能控制器与所述应变采集装置电连接；所述驱动装置为伺服电机，所述伺服电机的输出轴垂直于水平面；当装满硅片的石英舟放置于桨上时，所述桨前端下沉，所述应变采集装置检测到应力变化，将应变参数反馈给智能控制器，所述智能控制器将应力变化大小转换成角度控制信号，并将信号当量脉冲发送给所述驱动装置，由所述驱动装置通过所述丝杠、所述连接块带动所述凸轮随动器，使得所述凸轮随动器沿着所述丝杠在竖直方向上下移动，同时所述凸台在所述承载立板的所述腰型孔内滑动使得所述承载立板的一端围绕所述交叉滚子轴承转动，进而通过与所述承载立板连接的所述夹持装置带动桨在垂直面转动一定角度，从而实现所述石英舟的水平调节；在所述石英舟调节水平后进入石英管，当所述石英舟中心达到石英管中心位置后，所述石英舟和所述桨下降到一定距离，使得所述石英舟的舟脚与所述石英管内壁接触，所述桨前后端与所述石英舟脱离进入退所述桨过程，此时由于载荷消失，所述桨前端有上翘的趋势会与所述石英舟刮擦，所述伺服电机反转调整角度使所述桨变为水平，最终所述桨退出所述石英舟；所述智能控制器为PLC控制器，所述应变采集装置为电阻应变片，所述凸轮随动器的中心设置有供所述丝杠穿过的通孔，所述凸台为圆柱体结构、且所述凸台的轴线与所述通孔的轴线垂直，还包括蜗轮蜗杆减速器，所述驱动装置通过所述蜗轮蜗杆减速器连接所述传动机构。

全文数据：

权利要求：

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