龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：广西师范大学
摘要：本发明涉及光电器件制备技术领域，具体涉及一种基于紫外激光加工掩膜制备多色探测器的方法，针对在蒸镀或溅射微纳器件金属电极时金属掩膜版无法对准和固定在指定位置的问题，使用紫外激光在金属薄片上加工微纳器件所需的图案形成掩膜版，再使用PDMS拾取金属薄片掩膜版，固定后的金属薄片与PDMS通过施加一个微弱的力即可无损分离，拾取过程不易形变和脱离，对衬底材料损伤小；在掩膜薄片对准过程中，上方掩膜版采用XYZ位移平台，下方衬底采用XYR位移平台，CCD相机辅助观察对准，掩膜版与衬底对准和贴合后再滴加PDMS固定，使掩膜版与衬底贴合紧密不易移位，减少电极蒸镀误差，使实际电极间距最接近掩膜版的电极间距。
主权项：1.一种基于紫外激光加工掩膜制备多色探测器的方法，其特征在于，包括下列步骤：步骤1：激光切割掩膜，制备标记掩膜版和电极掩膜版；步骤2：使用标记掩膜版在衬底上蒸镀标记；步骤3：使用改进的带孔洞载玻片和PDMS粘附电极掩膜版，在位移平台和CCD辅助下对准衬底的标记；步骤4：在电极掩膜版四周滴加PDMS固定电极掩膜版和衬底；步骤5：在固定好的电极掩膜版和衬底上蒸镀金属电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广西师范大学 一种基于紫外激光加工掩膜制备多色探测器的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号