龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：FEI公司
申请日：2023-12-13
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118197887A
主分类号：H01J37/244
分类号：H01J37/244;H01J37/28;G01N23/2251;G01N23/203;G01N23/20008
优先权：["20221213 US 18/065438"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：包括宽带隙材料的带电粒子传感器。提供了带电粒子显微镜法系统、传感器和技术。一种带电粒子传感器可包括壳体，该壳体被配置为结合到扫描电子显微镜SEM中。该带电粒子传感器可包括与该壳体机械耦合的检测器单元。该检测器单元可包括受体层，该受体层包括其特征在于等于或大于约2.0eV的带隙的半导体材料。该受体层可以限定第一表面和与该第一表面相对的第二表面。该检测器单元可包括设置在该第一表面上的第一导电层、设置在该第二表面上的第二导电层、与该第一导电层电耦合的第一触点和与该第二导电层电耦合的第二触点。
主权项：1.一种带电粒子传感器，所述带电粒子传感器包括：壳体，所述壳体被配置为结合到扫描电子显微镜SEM中；和检测器单元，所述检测器单元与所述壳体机械耦合，所述检测器单元包括：受体层，所述受体层包括其特征在于等于或大于约2.0eV的间隙的半导体材料，所述受体层限定第一表面和与所述第一表面相对的第二表面；第一导电层，所述第一导电层设置在所述第一表面上；第二导电层，所述第二导电层设置在所述第二表面上；第一触点，所述第一触点与所述第一导电层电耦合；和第二触点，所述第二触点与所述第一导电层电耦合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 包括宽带隙材料的带电粒子传感器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号