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申请/专利权人：MKS仪器有限公司
申请日：2022-08-05
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118235228A
主分类号：H01J37/32
分类号：H01J37/32;H03H7/38
优先权：["20210811 US 63/231,861","20220726 US 17/873,624"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：电源系统包括RF发生器、匹配网络和控制模块。匹配网络包括至少一个机械可变阻抗元件和至少一个电可变阻抗元件。控制模块联接到匹配网络并且被配置为生成一个或多个信号以调节机械可变阻抗元件的阻抗和电可变阻抗元件的阻抗中的至少一个，从而改变发生器与负载之间的阻抗匹配。在其它示例中，混合可变阻抗模块包括至少一个机械可变阻抗元件、至少一个电可变阻抗元件和控制模块。控制模块被配置为生成一个或多个信号以调节机械可变阻抗元件的阻抗和电可变阻抗元件的阻抗中的至少一个。
主权项：1.一种用于为负载供电的电源系统，所述电源系统包括：RF发生器，包括被配置为输出RF信号的RF电源；匹配网络，联接在所述RF发生器与所述负载之间，其中，所述匹配网络包括至少一个机械可变阻抗元件和至少一个电可变阻抗元件；以及控制模块，联接到所述匹配网络并且被配置为生成一个或多个信号以调节所述机械可变阻抗元件的阻抗和所述电可变阻抗元件的阻抗中的至少一个，从而改变所述匹配网络的输入侧与所述RF发生器之间的阻抗匹配。
全文数据：
权利要求：
百度查询： MKS仪器有限公司 混合高电力和宽带可变阻抗模块
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