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申请/专利权人：苏州辰轩光电科技有限公司
摘要：本发明公开的一种减薄机气浮主轴结构，包括轴基座以及设置在轴基座上的机壳；轴基座上设置有球面调节座与调节螺栓座，球面调节座与调节螺栓座分别设置在机壳的两侧；球面调节座底部设置有球面调整块，调节螺栓座底部设置有调节螺栓；轴基座底部设置有砂轮基座，球面调整块与调节螺栓均贯穿轴基座并固定安装在砂轮基座顶部，砂轮基座底部设置有砂轮；通过在转子外侧设置多个气浮轴承，在对晶圆打磨过程中提高旋转打磨效率，同时降低旋转摩擦，此外，通过球面调整块与调节螺栓对底部的砂轮基座进行不同角度的调整，进而精准的控制打磨平面度，提高打磨精度。
主权项：1.一种减薄机气浮主轴结构，包括：轴基座以及设置在轴基座上的机壳；其特征在于，所述轴基座上设置有球面调节座与调节螺栓座，所述球面调节座与所述调节螺栓座分别设置在机壳的两侧；所述球面调节座底部设置有球面调整块，所述调节螺栓座底部设置有调节螺栓；所述轴基座底部设置有砂轮基座，所述球面调整块与所述调节螺栓均贯穿轴基座并固定安装在砂轮基座顶部，所述砂轮基座底部设置有砂轮。
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权利要求：
百度查询： 苏州辰轩光电科技有限公司 一种减薄机气浮主轴结构
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