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申请/专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明涉及一种氢气纯化工艺和技术。采用金属镍膜，能用于分离含氢合成气得到纯氢，或者脱除氢气中的CxHyx＝1‑30,O2,CO2和H2O，硫，卤化物等ppm级杂质，将这些杂质浓度均降到1ppb以下，满足半导体及LED生产等电子行业对超纯氢8‑9N的需求。金属镍膜通过焊接方式进行密封和集成。该工艺操作简单，跟贵金属膜相比大大降低成本，适合用于规模化工业生产。
主权项：1.一种镍膜提纯氢气的方法，其特征在于：采用金属镍膜从含氢混合气中分离得到纯氢，其中含氢混合气中除氢之外的其它气体组成包括但不限于CO2、CO、H2O以及碳氢化合物CxHyx＝1-30，y＝4-62，如CH4中的一种或二种以上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院大连化学物理研究所 一种超纯氢气纯化方法
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