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申请/专利权人：清华大学深圳国际研究生院;北京理工大学
申请日：2022-08-08
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN115290006B
主分类号：G01B11/255
分类号：G01B11/255;G02B27/62
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权;2022.12.23#专利申请权的转移;2022.11.22#实质审查的生效;2022.11.04#公开
摘要：本发明公开了一种用于反射光路光轴对准和面形曲率检测的系统，包括计算装置、第一、二激光光源、与光源等高的平面分光镜、分光棱镜、第一、二、三复消色差双胶合透镜、目标反射镜和图像传感器，并组成准直共轭光路：准直光路、检测反射镜光路、参考光路，图像传感器输出与计算装置相连。本发明解决了反射镜在光学系统的定心装调和球面反射镜的曲率半径精密检测的难题，以一种光路同时搭建两种光学应用检测的系统，减小检测成本及测量误差；同时引入原装调光路实现三轴共基准；实现检测光斑图像判定和装调反馈在线检测；提高复杂离轴系统搭建及检测效率，实现实时在线装调及高精度面形的测量效果。
主权项：1.一种用于反射光路光轴对准和面形曲率检测的系统，包括计算装置、第一激光光源、第二激光光源，与所述第一激光光源、第二激光光源等高的平面分光镜、分光棱镜、第一复消色差双胶合透镜、第二复消色差双胶合透镜、第三复消色差双胶合透镜、目标反射镜和图像传感器，其特征在于组成包含如下光路的准直共轭光路：准直光路，光由第一激光光源发出，沿直线依次经过平面分光镜、分光棱镜、第二复消色差双胶合透镜到达目标反射镜，经180°反射后，经过第二复消色差双胶合透镜到达分光棱镜，经90°反射后经第三复消色差双胶合透镜到达图像传感器形成第一光斑；检测反射镜光路，光由第二激光光源发出，经过第一复消色差双胶合透镜到达分光棱镜，经其分光，90°偏移反射至平面分光镜，经其180°反射后，沿直线依次经过分光棱镜、第二复消色差双胶合透镜到达目标反射镜，经其180°反射后，经过第二复消色差双胶合透镜到达分光棱镜，经其90°偏移反射后，经过第三复消色差双胶合透镜到达图像传感器形成第二光斑；参考光路，光由第二激光光源发出，沿直线依次经过第一复消色差双胶合透镜、分光棱镜、第三复消色差双胶合透镜到达图像传感器形成第三光斑;其中，图像传感器输出与计算装置相连，目标反射镜可根据需要设置为球面反射镜或非球面反射镜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学深圳国际研究生院;北京理工大学 一种用于反射光路光轴对准和面形曲率检测的系统及方法
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