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申请/专利权人：杭州士兰微电子股份有限公司
摘要：本发明提供了一种MEMS麦克风，衬底上的支撑墙体围合成一空腔，振动膜悬于空腔内且边缘延伸至支撑墙体内实现固定。背板结构上的释放孔阵列包括多个贯穿背板结构并与空腔连通的释放孔，在通过释放孔阵列释放牺牲层形成支撑墙体的过程中，支撑墙体的内壁的轮廓主要与释放孔阵列的最外圈释放孔有关，将最外圈释放孔配置为间隔排布的第一释放孔和第二释放孔。由于第一释放孔的孔径大于第二释放孔的孔径，利用第一释放孔会将支撑墙体的内壁腐蚀为波浪形，而利用第二释放孔可以“削”掉波浪形中的尖角，从而抑制尖角的形成，平滑支撑墙体内壁的轮廓，防止尖角戳破振动膜而导致振动膜脱落，提高器件的寿命和可靠性。
主权项：1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：衬底；支撑墙体，设置于所述衬底上并围合成一空腔；振动膜，悬于所述空腔内且边缘延伸至所述支撑墙体内固定；背板结构，位于所述支撑墙体上并遮盖所述空腔；以及，释放孔阵列，包括多个贯穿所述背板结构并与所述空腔连通的释放孔，位于所述释放孔阵列的最外圈释放孔包括间隔排布的第一释放孔和第二释放孔，所述第一释放孔的孔径大于所述第二释放孔的孔径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州士兰微电子股份有限公司 MEMS麦克风
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