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申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日：2023-09-22
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221149142U
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本实用新型公开了一种可改变分区吸盘，属于光刻机吸盘技术领域，包括平板状的吸盘本体和呈L型的密封条，所述吸盘本体的内部形成有矩形腔室，所述吸盘本体的上表面开设有与矩形腔室连通的若干吸附孔；所述密封条设置在矩形腔室的内部，并配合矩形腔室的任意一个内拐角在矩形腔室的内部分隔出独立的矩形吸附区域，所述矩形吸附区域通过真空管路与负压设备连通；其中，所述矩形吸附区域的面积可通过改变密封条的尺寸及位置进行调节。本实用新型中，只需改变密封条的尺寸和位置，就能够针对所定制PCB板的尺寸组装形成与该定制PCB板相匹配的矩形吸附区域，降低了整体的定制难度和成本，便于做到量产化。
主权项：1.一种可改变分区吸盘，其特征在于，包括：平板状的吸盘本体1，所述吸盘本体1的内部形成有矩形腔室11，所述吸盘本体1的上表面开设有与矩形腔室11连通的若干吸附孔12；以及呈L型的密封条2，所述密封条2设置在矩形腔室11的内部，并配合矩形腔室11的任意一个内拐角在矩形腔室11的内部分隔出独立的矩形吸附区域3，所述矩形吸附区域3通过真空管路与负压设备连通；其中，所述矩形吸附区域3的面积可通过改变密封条2的尺寸及位置进行调节。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 一种可改变分区吸盘
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