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申请/专利权人：浙江甬鹏新能源科技有限公司
申请日：2023-10-30
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221201123U
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;B07C5/36
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型涉及硅片分选机技术领域，且公开了一种硅片分选机防碎吸盘，包括输电盘，所述输电盘的下端固定安装有吸盘罩，所述输电盘的上端固定安装有连接柱，所述连接柱的上端开设有进气孔，所述吸盘罩的上端设置有连接板，所述连接板的内侧固定安装有真空吸盘，所述连接柱和真空吸盘之间设置有输气管道。该硅片分选机防碎吸盘，设置有缓冲垫，通过缓冲垫能够提前接触到硅片，能够起到缓冲作用，防止吸盘罩提前碰触到硅片，同时，四周采用真空吸盘，通过四周的真空吸盘对硅片四周进行缓冲保护，该硅片分选机防碎吸盘，设置有静电吸盘，通过静电吸盘对硅片进行吸附的时候，能够对硅片中心不被破坏，提高了工作效率，保护了硅片，实用性较高。
主权项：1.一种硅片分选机防碎吸盘，包括输电盘1，其特征在于：所述输电盘1的下端固定安装有吸盘罩2，所述输电盘1的上端固定安装有连接柱3，所述连接柱3的上端开设有进气孔4，所述吸盘罩2的上端设置有连接板6，所述连接板6的内侧固定安装有真空吸盘7，所述连接柱3和真空吸盘7之间设置有输气管道5，所述连接板6的上端设置有螺丝钉8，所述吸盘罩2的上端开设有螺纹孔一9，所述吸盘罩2的下端固定安装有静电吸盘10，所述吸盘罩2的外侧设置有缓冲垫11，所述吸盘罩2的上端设置有圆顶螺丝12，所述吸盘罩2的上端开设有螺纹孔二13，所述缓冲垫11的内侧固定安装有限位圈14，所述吸盘罩2的外侧开设有限位槽15。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江甬鹏新能源科技有限公司 一种硅片分选机防碎吸盘
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