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申请/专利权人:台积电(中国)有限公司;南京蔚宇电子系统工程有限公司
摘要:本实用新型公开了反应炉清理防粉尘逸散风圈,包括把手、内圈托架、风圈主体、吸尘管道接口,所述风圈主体上设置有相对分布的把手和吸尘管道接口,所述风圈主体内部为中空,内侧壁上等角度设置有若干通风槽,所述风圈主体上设置有三个内圈托架,所述内圈托架由螺栓、架体、活动块、螺帽组成,所述架体截面为L型,一侧面上开有通槽,活动块通过螺栓设置在另一侧面上,并通过螺帽限位。本实用新型中的风圈能够对顶盖上的粉尘进行吸附,避免对人体有害粉尘逸散,结构简单,实用方便快捷。
主权项:1.反应炉清理防粉尘逸散风圈,其特征在于,包括把手、内圈托架、风圈主体、吸尘管道管接口,所述风圈主体上设置有相对分布的把手和吸尘管道接口,所述风圈主体内部为中空,内侧壁上等角度设置有若干通风槽,所述风圈主体上设置有三个内圈托架,所述内圈托架由螺栓、架体、活动块、螺帽组成,所述架体截面为L型,一侧面上开有用于活动块通过的通槽,活动块通过螺栓设置在另一侧面上,并通过螺帽限位。
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