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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种工件台测试平台。工件台测试平台包括主体框架、测量框架和锁紧组件；主体框架与测量框架之间安装有主动隔振器，主动隔振器用于支撑测量框架浮起；锁紧组件包括锁紧销和螺纹紧固件，测量框架开设有通孔，锁紧销穿设于通孔；锁紧销的两端分别具有第一螺纹段和第二螺纹段，主体框架开设有螺纹孔，螺纹孔用于与第一螺纹段配合，螺纹紧固件用于与第二螺纹段配合，能够压紧或脱离测量框架。本实用新型提供的工件台测试平台，既可保证工件台测试平台的装配精度和转运安全性，又能满足测量框架在工作状态下的运动需求。
主权项：1.一种工件台测试平台，其特征在于，包括主体框架100、测量框架200和锁紧组件300；所述主体框架100与所述测量框架200之间安装有主动隔振器400，所述主动隔振器400用于支撑所述测量框架200浮起；所述锁紧组件300包括锁紧销310和螺纹紧固件320，所述测量框架200开设有通孔210，所述锁紧销310穿设于所述通孔210；所述锁紧销310的两端分别具有第一螺纹段311和第二螺纹段312，所述主体框架100开设有螺纹孔110，所述螺纹孔110用于与所述第一螺纹段311配合，所述螺纹紧固件320用于与所述第二螺纹段312配合，能够压紧或脱离所述测量框架200。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 工件台测试平台
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