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申请/专利权人：江苏杰洋能源装备有限公司
申请日：2023-08-17
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221133357U
主分类号：B08B3/04
分类号：B08B3/04
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本实用新型是一种内置溢流口式硅片清洗槽，包括：主槽体，其适于清洗硅片；挡板组件，其设置在主槽体周向顶部外侧，挡板组件、主槽体之间形成溢流槽；溢流通道，其设置在主槽体内壁处，其顶部开口处与溢流槽连通；溢流口，其开设在主槽体侧壁，并与溢流通道底部连通；当主槽体内清洗液溢流至溢流槽内，经溢流通道、溢流口将清洗液排出；主槽体、挡板组件之间形成溢流槽，溢流通道顶部与溢流槽连通，溢流通道底部且在主槽体侧壁处开设有溢流口，当清洗液进入至溢流槽内，清洗液依次经过溢流通道、溢流口排出，这样将溢流口改成内置时，即溢流通道开设在主槽体内，溢流口开设在主槽体的侧壁上，这样便能够防止清洗液渗漏。
主权项：1.一种内置溢流口式硅片清洗槽，其特征在于，包括：主槽体，其适于清洗硅片；挡板组件，其设置在所述主槽体周向顶部外侧，所述挡板组件、主槽体之间形成溢流槽；溢流通道，其设置在所述主槽体内壁处，其顶部开口处与所述溢流槽连通；溢流口，其开设在所述主槽体侧壁，并与所述溢流通道底部连通；当所述主槽体内清洗液溢流至所述溢流槽内，经所述溢流通道、溢流口将清洗液排出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏杰洋能源装备有限公司 一种内置溢流口式硅片清洗槽
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