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【实用新型】一种硅片清洗干燥装置_新疆东方希望光伏科技有限公司_202322335231.5 

申请/专利权人:新疆东方希望光伏科技有限公司

申请日:2023-08-30

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN221197908U

主分类号:F26B11/18

分类号:F26B11/18;F26B5/08;F26B25/02;F26B25/18

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.21#授权

摘要:本实用新型涉及围绕垂直轴或微陡斜轴旋转的技术领域,且公开了一种硅片清洗干燥装置,包括烘干箱本体,所述烘干箱本体内部中空,烘干箱本体的内部设置有四个放置板,放置板的上表面开设有第一凹槽,第一凹槽延伸出放置板的下表面,第一凹槽的内壁开设有卡槽,卡槽的两侧内壁均开设有第二凹槽,两个第二凹槽的内部均设置有压板,通过工作人员将硅片放置在卡槽的内部,后续通过工作人员转动第一蜗杆,最终实现对放置板上部放置的硅片进行固定,解决了多个硅片吸附在一起,导致表面会留下水渍,需要工作人员进行二次清洗后再次烘干,且在旋转的过程中可能会出现硅片之间碰撞的问题,通过工作人员将硅片分别放置在放置板的上部。

主权项:1.一种硅片清洗干燥装置,包括烘干箱本体(1),其特征在于:所述烘干箱本体(1)内部中空,烘干箱本体(1)的内部设置有四个放置板(2),放置板(2)的上表面开设有第一凹槽(3),第一凹槽(3)延伸出放置板(2)的下表面,第一凹槽(3)的内壁开设有卡槽(4),卡槽(4)的两侧内壁均开设有第二凹槽(5),两个第二凹槽(5)的内部均设置有压板(6),放置板(2)的外部设置有固定机构,四个放置板(2)之间均固定连接有两个固定杆(14),四个放置板(2)的下部均设置有漏网(13)。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 新疆东方希望光伏科技有限公司 一种硅片清洗干燥装置

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