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申请/专利权人：奇美实业股份有限公司

摘要：本发明提供一种感光性树脂组成物、硬化膜图案及其制作方法。感光性树脂组成物包括含乙烯性不饱和基的聚酰亚胺前驱物A、含乙烯性不饱和基的化合物B、光起始剂C及溶剂D。其中，光起始剂C包含芴氨基酮类化合物。利用此感光性树脂组成物所制得的硬化膜图案具有良好的残膜率与解析度。

主权项：1.一种感光性树脂组成物，其特征在于，包含：含乙烯性不饱和基的聚酰亚胺前驱物A；含乙烯性不饱和基的化合物B；光起始剂C；以及溶剂D，且其中该聚酰亚胺前驱物A包含如下式A-0所示的重复单元： 在式A-0中，Z1代表四价有机基；Z2代表二价有机基；Z4与Z5分别独立地代表-OZ3或含有乙烯性不饱和基的一价有机基，且Z1与Z2的至少一者代表含有乙烯性不饱和基的一价有机基；Z3代表氢原子、碳数为1至20的烷基或碳数为3至20的环烷基；该光起始剂C包含如下式C-1所示的芴氨基酮类化合物： 在式C-1中，A代表氢原子、卤素原子、硝基、碳数为1至20的直链烷基或支链烷基、碳数为3至10的烷基环烷基、碳数为4至10的烷基环烷基或环烷基烷基、-COR6或-CO-CR2R3R4，其中-CH2-可被-O-、-N-、-S-或所取代；R1代表氢原子、卤素原子、碳数为1至20的直链烷基或支链烷基、碳数为4至20的环烷基烷基或碳数为2至20的烯基，其中R1中的-CH2-可被-O-、-N-、-S-或所取代，且R1之间可成环；R2和R3分别独立地代表碳数为1至20的直链烷基或支链烷基、碳数为3至20的环烷基、碳数为4至20的环烷基烷基、碳数为4至20的烷基环烷基、碳数为6至20的芳基、碳数为6至20的烷基芳基，其中前述基团中的一个或多个氢原子可独立地被烷基、卤素原子、羟基或硝基所取代，R2和R3中的-CH2-可被-O-、-N-、-S-或所取代，且R2和R3可相互成环；或者R2代表碳数为1至20的直链烷基或支链烷基、碳数为2至20的烯基，且R3选自下列任一种基团：a其中m代表0或1；R9代表氢原子、碳数为1至8的烷基或苯基；R10、R11和R12分别独立地代表氢原子或碳数为1至4的烷基；或b其中n代表0、1、2或3；或c其中Ar代表经取代或未被取代的苯基、萘基、呋喃基、噻吩基或吡啶基；R9代表氢原子、碳数为1至8的烷基或苯基；R4代表N-吗啉基、N-哌啶基、N-吡咯基或N-二烷基，其中前述基团中的一个或多个氢原子可被卤素原子或羟基所取代；R5与R5'分别独立地代表碳数为1至20的直链烷基或支链烷基、碳数为4至20的环烷基、碳数为2至20的烯基、碳数为6至20的芳基、碳数为6至20的烷基芳基，其中前述基团中的一个或多个氢原子可独立地被烷基、卤素原子、羟基或硝基所取代，且前述基团中的-CH2-可被-O-取代，或者R5和R5'可彼此相连或通过-O-、-S-或-NH-形成五元环或六元环；R6代表碳数为1至20的直链烷基或支链烷基、碳数为4至20的环烷基、碳数为4至20的烷基环烷基、碳数为2至20的烯基、碳数为6至20的芳基、碳数为6至20的烷基芳基，其中前述基团中的-CH2-可被-O-或-S-取代，且前述基团的一个或多个氢原子可独立地被烷基、卤素原子、硝基、氰基、-SR7或-OR8所取代；R7和R8相互独立地代表氢、碳数为1至20的直链或支链烷基。

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