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申请/专利权人：株式会社迪思科
摘要：本发明提供卡盘工作台，其降低保持面的径向的中心部与外周部的吸引力的偏差。该卡盘工作台对被加工物进行吸引保持，其中，该卡盘工作台具有：板状的多孔板，其具有对被加工物进行吸引保持的保持面；以及板状的基台，其具有在载置多孔板时与多孔板的位于保持面的相反侧的底面接触的顶面，基台具有在顶面露出且用于将来自吸引源的负压传递至多孔板的多个吸引路，该卡盘工作台能够构成为：在俯视基台的情况下，以能够对多孔板提供负压的方式露出的多个吸引路的面积相对于基台的顶面的面积与以能够对多孔板提供负压的方式露出的多个吸引路的面积之和的比例在顶面的中心部比顶面的外周部小。
主权项：1.一种卡盘工作台，其对被加工物进行吸引保持，其特征在于，该卡盘工作台具有：板状的多孔板，其具有对该被加工物进行吸引保持的保持面；以及板状的基台，其具有在载置该多孔板时与该多孔板的位于该保持面的相反侧的底面接触的顶面，该基台具有在该顶面露出且用于将来自吸引源的负压传递至该多孔板的多个吸引路，该卡盘工作台能够构成为：在俯视该基台的情况下，以能够对该多孔板提供负压的方式露出的该多个吸引路的面积相对于该基台的该顶面的面积与以能够对该多孔板提供负压的方式露出的该多个吸引路的面积之和的比例在该顶面的中心部比该顶面的外周部小。
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