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申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要：本发明涉及一种复合衬底的电声换能结构及其制备方法和应用，所述结构包括：提供一支撑衬底1；位于所述支撑衬底1上方的压电薄膜2；位于所述压电薄膜2上方的金属电极；所述金属电极由第一汇流条3和第二汇流条4组成；所述第一汇流条3位于所述第二汇流条4内部。本发明既可以通过输入电学信号激发弹性波，也可以对物体中的弹性波进行探测，使得激励和检测都可通过本发明的结构实现。
主权项：1.一种复合衬底的电声换能结构，其特征在于：所述结构包括：提供一支撑衬底1；位于所述支撑衬底1上方的压电薄膜2；位于所述压电薄膜2上方的金属电极；所述金属电极由第一汇流条3和第二汇流条4组成；所述第一汇流条3位于所述第二汇流条4内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种复合衬底的电声换能结构及其制备方法和应用
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