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申请/专利权人：北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
申请日：2024-03-21
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118204856A
主分类号：B24B7/22
分类号：B24B7/22;H01L21/687;H01L21/67;B24B41/06;B24B47/12
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：本申请涉及加工设备领域，尤其是涉及一种回转转台装置及加工设备。回转转台装置包括第一转台和第二转台；第一转台包括第一转台本体和第一驱动机构，第一驱动机构包括磁吸组件和驱动装置；磁吸组件包括磁吸连接的第一连接部和第二连接部，第一转台本体安装有第一连接部，驱动装置安装有第二连接部；第一转台本体安装于第二转台，第二转台转动以带动第一转台本体移动至多个加工工位；多个加工工位均设置有驱动装置。本申请通过设置磁吸组件以使第一转台本体和驱动装置能够吸合及分离，不影响第一转台本体的转动运行，且在第二转台带动第一转台本体转动时，驱动装置的位置不发生移动且无需设置拖链机构，结构简单有效，减少了装置的体积。
主权项：1.一种回转转台装置，其特征在于，包括第一转台和第二转台；所述第一转台包括第一转台本体和第一驱动机构，所述第一驱动机构包括磁吸组件和驱动装置；所述磁吸组件包括磁吸连接的第一连接部和第二连接部，所述第一转台本体安装有所述第一连接部，所述驱动装置安装有所述第二连接部；所述第一转台本体安装于所述第二转台，所述第二转台转动以带动所述第一转台本体移动至多个加工工位；多个所述加工工位均设置有所述驱动装置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 回转转台装置及加工设备
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