买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:华海清科股份有限公司
摘要:本申请公开了一种晶圆承载杯、晶圆承载杯的水平检测系统及方法,晶圆承载杯,包括:杯体,用于承载抛光头;托盘,设置在杯体内,并通过升降组件与杯体连接,用于承载晶圆;其中,托盘上包括至少两个位置传感器,用于判断托盘是否维持水平状态,至少两个位置传感器不在托盘的同一直径上。本实施例提供的方案,可以通过至少两个位置传感器实现对托盘水平状态维持情况的检测,成本低;且能够及时发现托盘不再水平,并及时进行调整,减少了晶圆LoadUnloadfail的情况。
主权项:1.一种晶圆承载杯,其特征在于,包括:杯体,用于承载抛光头;托盘,设置在所述杯体内,并通过升降组件与所述杯体连接,用于承载晶圆;其中,所述托盘上包括至少两个位置传感器,用于判断所述托盘是否维持水平状态,所述至少两个位置传感器不在所述托盘的同一直径上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 华海清科股份有限公司 晶圆承载杯、晶圆承载杯的水平检测系统及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。