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【发明授权】一种新型摇摆式平面研磨装置_浙江工业大学_201910880100.0 

申请/专利权人:浙江工业大学

申请日:2019-09-18

公开(公告)日:2024-06-18

公开(公告)号:CN110682210B

主分类号:B24B47/12

分类号:B24B47/12;B24B47/16;B24B37/10

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.18#授权;2020.02.11#实质审查的生效;2020.01.14#公开

摘要:一种新型摇摆式平面研磨装置,包括固定竖板、工件盘,配重盘,插杆,卡盘,卡盘通过键连接固定连接轴Ⅴ上,并通过轴端挡圈和螺栓固定轴Ⅴ的下部;插杆的上部卡在卡盘中,插杆的下部套在工件盘对应的孔中,工件盘和研磨盘相接触。通过一个电机带动工件盘的形成无理数的自转,同时另一个电机带动工件盘做可变摆角的圆弧摇摆运动,使得工件盘在研磨过程中实现自转和摇摆两个运动,实现研磨轨迹线的不闭合,增加轨迹线在研磨盘的分布范围。本发明改善平面研磨盘的盘磨损、提高研磨效率和精度。

主权项:1.一种新型摇摆式平面研磨装置,其特征在于,所述装置包括固定竖板、工件盘、配重盘、插杆和卡盘,电机Ⅰ固定安装在电机板Ⅰ上,电机轴与圆柱齿轮Ⅰ直接连接;所述固定竖板上部和电机板Ⅰ固定连接,所述固定竖板下部与研磨机固定板连接;圆柱齿轮Ⅱ固定安装在大摇臂上,且和圆柱齿轮Ⅰ啮合;法兰Ⅰ套装在轴Ⅰ的下部,并通过紧定螺钉固定,法兰Ⅰ下部和研磨机固定板连接;轴套套装在法兰Ⅰ的上部;所述大摇臂通过内部的铜套和一对推力球轴承套装在轴Ⅰ上,并通过两个小圆螺母固定在轴Ⅰ上进行轴向固定;所述大摇臂的另一端通过轴套和一对圆锥滚子轴承和轴Ⅴ固定连接,所述大摇臂的下端也通过小圆螺母固定;电机Ⅱ固定安装在电机板Ⅱ上,电机轴与圆柱齿轮Ⅲ直接连接,轴Ⅱ上部固定连接在电机板Ⅱ上,圆柱齿轮Ⅳ固定安装在轴Ⅱ上,并通过内部的深沟球轴承套装在轴Ⅱ上,且和圆柱齿轮Ⅲ啮合;锥齿轮Ⅰ通过键连接和轴Ⅱ固定连接,并通过轴端挡圈和螺栓固定轴Ⅱ的下部;行星架是由三块板和一个套筒通过螺钉连接而成,行星架的上部一块板与圆柱齿轮Ⅳ的轮毂固定连接,行星架的下部的套筒通过内部的深沟球轴承套装在轴Ⅲ的上部;锥齿轮Ⅱ通过键连接固定在轴Ⅲ的下部,且与锥齿轮Ⅰ啮合;所述的锥齿轮Ⅰ、锥齿轮Ⅱ和行星架形成行星轮系,锥齿轮Ⅱ通过与锥齿轮Ⅰ的啮合在行星架的带动下作行星运动;万向节的上端与轴Ⅲ的下端相连接,万向节的下端与轴Ⅳ固定连接;圆柱齿轮Ⅴ通过键连接固定在轴Ⅳ上,法兰Ⅱ通过深沟球轴承套装在轴Ⅳ上并固定在箱体底板上;圆柱齿轮Ⅵ通过键连接固定在轴Ⅴ上且与圆柱齿轮Ⅴ啮合,并通过轴端挡圈和螺栓固定轴Ⅴ的上部;卡盘通过键连接固定连接轴Ⅴ上,并通过轴端挡圈和螺栓固定轴Ⅴ的下部;插杆的上部卡在卡盘中,插杆的下部套在工件盘对应的孔中,工件盘和研磨盘相接触;T形竖板上部、开口竖板的上部通过螺钉和电机板Ⅱ连接,同时T形竖板上部、开口竖板的下部也通过螺钉和箱体底板固定连接,箱体底板通过螺钉固定在大摇臂上,使得电机Ⅱ的输出部分形成一个整体固定在大摇臂上;固定板通过深沟球轴承套装在轴Ⅳ上,两端通过螺钉和T形竖板、开口竖板固定连接,确保了轴Ⅳ相对于轴Ⅱ的相对位置不变,自转结构的整体保持稳定,确保工件盘的转速输出。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浙江工业大学 一种新型摇摆式平面研磨装置

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