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申请/专利权人：中芯南方集成电路制造有限公司
申请日：2021-04-09
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN115193207B
主分类号：B01D53/00
分类号：B01D53/00;B01D53/26
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权;2022.11.04#实质审查的生效;2022.10.18#公开
摘要：一种水汽分离装置，包括：位于腔体内的回流腔，所述回流腔与所述水槽连通，且所述回流腔沿垂直于水平面方向延伸，所述回流腔的侧壁具有连通回流腔内部和腔体内部的若干回流孔；位于所述回流腔外壁的若干冷凝片，所述若干冷凝片沿垂直于水平面方向排布，且各冷凝片与一回流孔相邻且位于所述回流孔上方，各冷凝片具有固定于所述回流腔外壁的第一端、以及相对于所述第一端朝远离水槽的方向倾斜的第二端，各冷凝片具有自所述第一端贯通到所述第二端的缺口，且若干所述冷凝片的缺口投影于水平面的图形互不重叠，所述冷凝片及所述回流腔的设置增加了尾气排出的路径，并使尾气经过多次水汽分离，减少尾气排出后尾气内的水汽含量。
主权项：1.一种水汽分离装置，其特征在于，包括：腔体，所述腔体具有与外部连通的进气口以及与外部连通的出气口；位于所述腔体内底部的水槽；位于腔体内的回流腔，所述回流腔具有第一底部端口，所述第一底部端口伸入所述水槽内，且所述回流腔沿垂直于水平面方向延伸，所述回流腔的侧壁具有连通回流腔内部和腔体内部的若干回流孔；位于所述回流腔外壁的若干冷凝片，所述若干冷凝片沿垂直于水平面方向排布，且各冷凝片与一回流孔相邻且位于所述回流孔上方，各冷凝片具有固定于所述回流腔外壁的第一端、以及相对于所述第一端朝远离水槽的方向倾斜的第二端，各冷凝片具有自所述第一端贯通到所述第二端的缺口，且若干所述冷凝片的缺口投影于水平面的图形互不重叠。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯南方集成电路制造有限公司 水汽分离装置
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