申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司;北京优微精密测控技术研究有限公司

申请日：2021-10-29

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN114114899B

主分类号：G05B13/02

分类号：G05B13/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.18#授权;2023.09.26#专利申请权的转移;2022.03.18#实质审查的生效;2022.03.01#公开

摘要：本发明提供了一种工件台的前馈控制器的前馈系数整定方法、装置、存储介质及电子设备，涉及控制工程技术领域，所述方法包括：S1：基于预设冲激系数对预定轴进行激励，获得预定轴的冲激响应；S2：基于前馈控制器的第一前馈系数运行工件台，获得工件台的位置误差和前馈控制器的速度参数；S3：基于所述冲激响应、位置误差和速度参数，获得前馈控制器的第二前馈系数；S4：判断第二前馈系数与第一前馈系数差值的绝对值是否小于预设阈值；当不小于预设阈值时，获取该第二前馈系数作为第一前馈系数，循环执行S2～S4；否则，获取该第二前馈系数作为整定后的前馈系数。本发明提供的技术方案，能够自动整定前馈控制器的前馈系数，大大提高整定效率。

主权项：1.一种工件台的前馈控制器的前馈系数整定方法，其特征在于，所述方法包括：S1：基于预设冲激系数对所述工件台的预定轴进行激励，获得所述预定轴的冲激响应；S2：基于已知的所述前馈控制器的第一前馈系数运行所述工件台，获得所述工件台的位置误差和所述前馈控制器的速度参数；S3：基于所述预定轴的冲激响应、所述工件台的位置误差和所述前馈控制器的速度参数，获得所述前馈控制器的第二前馈系数；S4：判断所述第二前馈系数与所述第一前馈系数差值的绝对值是否小于预设阈值；当所述第二前馈系数与所述第一前馈系数差值的绝对值不小于所述预设阈值时，获取所述第二前馈系数作为所述第一前馈系数，循环执行S2～S4；当所述第二前馈系数与所述第一前馈系数差值的绝对值小于所述预设阈值时，获取所述第二前馈系数作为所述前馈控制器整定后的前馈系数；所述基于所述预定轴的冲激响应、所述工件台的位置误差和所述前馈控制器的速度参数，获得所述前馈控制器的第二前馈系数，包括：基于所述预定轴的冲激响应和所述前馈控制器的速度参数，获得所述工件台的输出对于所述前馈控制器的前馈系数的偏导；基于所述工件台的位置误差和所述工件台的输出对于所述前馈控制器的前馈系数的偏导，获得预设目标函数的梯度；其中，所述预设目标函数基于所述前馈控制器的前馈系数与所述工件台的位置误差之间的关系预先建立；基于所述工件台的输出对于所述前馈控制器的前馈系数的偏导，获得所述预设目标函数的Hessian矩阵；基于所述预设目标函数的梯度和所述预设目标函数的Hessian矩阵，获得所述前馈控制器的第二前馈系数。

全文数据：

权利要求：

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