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申请/专利权人：常州市大成真空技术有限公司;深圳市大成精密设备股份有限公司

摘要：一种测量装置的误差影响因素分析方法及测量装置；其中，方法包括：让测量装置的激光传感器在测量工作的过程中，一并采集其到第一水平基准面的多个距离数据，分析多个距离数据之间的波动情况，以判断测量装置的导轨的水平度是否为误差影响因素；在判定导轨的水平度非误差影响因素后，让激光传感器在测量工作的过程中，一并采集其到第二水平基准面的距离数据，并第一水平基准面与第二水平基准面的测量距离差，然后比较第一水平基准面与第二水平基准面的实际距离差与测量距离差，以判断激光传感器的激光发射方向是否为误差影响因素。该分析方法能够分离开存在耦合的多个误差影响因素，从而为明确误差影响因素及测量装置的校准提供清晰的方向。

主权项：1.一种测量装置的误差影响因素分析方法，其特征在于，包括如下步骤：在所述测量装置的大理石座上安装基准组件，在所述基准组件上设置第一水平基准面和第二水平基准面，并且让所述第一水平基准面与所述第二水平基准面在竖直方向上具有一定的间距，同时让所述第一水平基准面与所述第二水平基准面在竖直方向上位于所述测量装置的激光传感器的一侧；让所述激光传感器在进行测量工作的过程中，一并采集所述激光传感器到所述第一水平基准面的多个距离数据；分析所述激光传感器到所述第一水平基准面的多个距离数据之间的波动情况，以判断所述大理石座上用于安装所述激光传感器的导轨是否处在与所述第一水平基准面平行的水平状态，从而判断所述导轨的水平度是否为误差影响因素；如所述导轨的水平度为误差影响因素，则先对所述导轨进行水平校准，再分析其他误差影响因素；如所述导轨的水平度非误差影响因素，则继续分析其他误差影响因素；让所述激光传感器在进行测量工作的过程中，一并采集所述激光传感器到所述第二水平基准面的距离数据；根据所述激光传感器到所述第一水平基准面的距离数据以及所述激光传感器到所述第二水平基准面的距离数据，计算所述第一水平基准面与所述第二水平基准面的测量距离差；此时的所述激光传感器到所述第一水平基准面的距离数据为分析并判定所述导轨的水平度非误差影响因素时所采用或保留的数据，或者是在判定所述导轨的水平度非误差影响因素后，重新采集的所述激光传感器到所述第一水平基准面的数据；将所述第一水平基准面与所述第二水平基准面的测量距离差，与所述第一水平基准面与所述第二水平基准面的实际距离差进行比较，以判断所述激光传感器的激光发射方向是否垂直于所述第一水平基准面及所述第二水平基准面，从而判断所述激光传感器的激光发射方向是否为误差影响因素；如所述激光传感器的激光发射方向为误差影响因素，则先对所述激光传感器的激光发射方向进行校准，再分析其他误差影响因素；如所述激光传感器的激光发射方向非误差影响因素，则继续分析其他误差影响因素。

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