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申请/专利权人：华灿光电(浙江)有限公司

摘要：本公开提供了一种晶圆掺杂检测系统及检测方法，属于半导体技术领域。晶圆掺杂检测系统包括真空样品仓、激光探头、光谱收集设备和处理器，激光探头和光谱收集设备位于真空样品仓内；真空样品仓，用于为样品掺杂浓度检测提供真空环境；激光探头，用于在检测样品掺杂浓度时发射激光达到样品表面；光谱收集设备，用于收集样品反射的激光，并根据反射的激光获取束缚激子信号及自由激子信号，将束缚激子信号及自由激子信号发送至处理器；处理器用于，根据光谱收集设备发送的束缚激子信号及自由激子信号，确定样品的掺杂类型和掺杂浓度。采用本公开提供的晶圆掺杂检测系统可以较为准确的检测晶圆的掺杂浓度和掺杂类型。

主权项：1.一种晶圆掺杂检测系统，其特征在于，所述晶圆掺杂检测系统用于检测样品的掺杂浓度和掺杂类型，所述样品为晶圆；所述晶圆掺杂检测系统包括真空样品仓、激光探头、第一抽真空设备、第一充气设备、样品传递仓、机械移动载物台、光谱收集设备和处理器，所述样品传递仓内具有第二抽真空设备和第二充气设备，所述真空样品仓和所述样品传递仓内均设有机械手，所述激光探头、所述第一抽真空设备、所述第一充气设备、所述机械移动载物台和所述光谱收集设备位于所述真空样品仓内；所述真空样品仓，用于为所述样品提供真空环境；所述激光探头，用于发射激光到所述样品表面；所述第一抽真空设备，用于对所述真空样品仓内进行抽真空；所述第一充气设备，用于对所述真空样品仓内进行充气；所述机械手，用于控制所述样品的移动和转移；所述机械移动载物台，用于控制放置在托盘内的多个样品在所述真空样品仓内旋转、或沿水平方向以及竖直方向移动，所述机械移动载物台根据所述样品的尺寸进行移动，所述机械移动载物台每次移动的移动单位为3μm-50μm，所述托盘包括多片口袋；所述样品传递仓，用于为所述样品去除杂质提供环境；所述第二抽真空设备，用于对所述样品传递仓进行抽真空；所述第二充气设备，用于对所述样品传递仓进行充气；所述第二抽真空设备和所述第二充气设备用于在所述样品位于所述样品传递仓中时，进行多次循环抽真空和充气，使得所述样品传递仓内的压强为10-4-10-8Pa；所述光谱收集设备，用于收集所述样品反射的激光，并根据反射的激光获取束缚激子信号及自由激子信号，将所述束缚激子信号及所述自由激子信号发送至所述处理器；所述处理器用于，根据所述光谱收集设备发送的所述束缚激子信号及所述自由激子信号，确定所述样品的掺杂类型和掺杂浓度，其中，所述处理器用于采用以下方式确定所述掺杂浓度：从所述束缚激子信号中提取第一光谱强度数据参数；从所述自由激子信号中提取第二光谱强度数据参数；获取所述第一光谱强度数据参数和所述第二光谱强度数据参数的比值；将所述第一光谱强度数据参数和所述第二光谱强度数据参数的比值与二次离子质谱的测试结果建立线性对应关系，根据所述线性对应关系确定所述样品的掺杂浓度。

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