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申请/专利权人：江西兆驰半导体有限公司
摘要：本实用新型提供一种晶圆抛洗装置，包括水槽以及在水槽内滑动设置的清洗篮，在水槽的外侧上连接有固定结构，固定结构包括固定架以及支撑架，固定架连接在水槽的外侧，在固定架上滑动设置有与清洗篮连接的滑动结构，在支撑架上设置有变频驱动结构，变频驱动结构包括与支撑架连接的驱动机构以及转动设置在驱动机构上的圆柱凸轮，且滑动结构的底部抵靠在圆柱凸轮的顶部，变频驱动结构通过固定件连接在支撑架的底部，且驱动机构的输出轴贯穿固定件以及支撑架，圆柱凸轮套设在输出轴上，滑动结构的底部抵靠在圆柱凸轮上，通过驱动机构带动圆柱凸轮旋转，以使抵靠在圆柱凸轮顶部的滑动结构带动清洗篮在水槽内可调控的上下抛动。
主权项：1.一种晶圆抛洗装置，其特征在于，包括水槽以及在所述水槽内滑动设置的清洗篮，在所述水槽的外侧上连接有固定结构，所述固定结构包括固定架以及支撑架，所述固定架连接在所述水槽的外侧，在所述固定架上滑动设置有与所述清洗篮连接的滑动结构，在所述支撑架上设置有变频驱动结构，所述变频驱动结构包括与所述支撑架连接的驱动机构以及转动设置在所述驱动机构上的圆柱凸轮，所述圆柱凸轮的上表面为空心圆柱体的斜截面，且所述滑动结构的底部抵靠在所述圆柱凸轮的顶部，所述变频驱动结构通过固定件连接在支撑架的底部，且所述驱动机构的输出轴贯穿所述固定件以及所述支撑架，所述圆柱凸轮套设在所述输出轴上，所述滑动结构的底部抵靠在所述圆柱凸轮上，通过所述驱动机构带动所述圆柱凸轮旋转，以使抵靠在所述圆柱凸轮顶部的所述滑动结构带动所述清洗篮在所述水槽内可调控的上下抛动。
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权利要求：
百度查询： 江西兆驰半导体有限公司 一种晶圆抛洗装置
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