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申请/专利权人：广东瑞乐半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆多点测温装置，属于晶圆测温技术领域，本装置包括信号线主线，信号线主线与测温器连接，信号线主线分为第一信号线主干与第二信号线主干，信号线主线均由若干根信号线组成，信号线末端均设置有微型测温热电偶；微型测温热电偶设置在晶圆上，第一信号线主干用于对晶圆的左半部分进行测温，第二信号线主干用于对晶圆的右半部分进行测温，使用时，先将微型测温热电偶固定在晶圆所要测温的测温点上，微型测温热电偶将测温点的温度信号通过信号线传递到测温器上，通过测温器显示的数据可得特定晶圆位置的真实温度测量值以及整体晶圆温度分布。
主权项：1.一种晶圆多点测温装置，其特征在于，包括：信号线主线；所述信号线主线分为第一信号线主干与第二信号线主干，所述信号线主线均由若干根信号线组成，所述信号线末端均设置有微型测温热电偶；所述微型测温热电偶设置在晶圆上；所述第一信号线主干用于对所述晶圆的左半部分进行测温，所述第二信号线主干用于对所述晶圆的右半部分进行测温；所述信号线主线与测温器连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东瑞乐半导体科技有限公司 一种晶圆多点测温装置
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