申请/专利权人：浙江亚笙半导体设备有限公司

申请日：2024-02-01

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN118218332A

主分类号：B08B9/032

分类号：B08B9/032;H01L21/67;B08B13/00

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.06.21#公开

摘要：一种加热吹扫装置，采用多个法兰盘来固定嵌套安装废气进气管和出气管，整体设计安装，结构紧凑，节省空间，采用法兰将废气进气管和出气管接入抽气泵与尾气处理设置之间的气体输送管道，无需另外添加配接管道，节省了成本，降低了操作难度。设置多个加热元件和气体加热空间对吹扫气体进行加热，提升了加热效率和加热可靠性，令吹扫气体在气体加热空间内从下至上围绕加热元件充分盘旋环绕，最大限度增加气体流动路径的长度，使吹扫气体与加热元件更充分的接触，充分发挥加热元件的加热功效，令吹扫气体被加热元件充分并均匀加热。采用废气进气管与出气管之间形成的环形间隙作为吹扫气体进入出气管的通道，无热量损耗，效率高，吹扫气体沿环形间隙进入出气管，使吹扫气体的进气方向与来自抽气泵的废气的进气方向一致，避免了气体相互扰动，进一步提高了吹扫效率，环形间隙形成负压发生器，来自抽气泵的废气在负压的吸力作用下被快速吸入出气管，极大地提高了气体流速，防止粉尘在管壁堆积，增强了吹扫清洁效果。

主权项：1.一种加热吹扫装置，其特征在于，包含：主体加热结构以及分别与所述主体加热结构连接的废气进气管，吹扫气进气管和出气管；所述主体加热结构包含：两端通过第一法兰盘和第二法兰盘固定连接的外管，以及设置在所述外管内的第三法兰盘，所述第一法兰盘和所述第三法兰盘之间形成气体传输空间；所述出气管的进气端依次穿过所述第二法兰盘上的第一安装孔和所述第三法兰盘上的第二安装孔，通过所述第二法兰盘和所述第三法兰盘固定连接所述出气管，所述出气管的出气端通过管路连接至尾气处理设备；所述废气进气管的进气端通过管路连接至半导体制程设备的抽气泵的出气口，所述废气进气管的出气端穿过所述第一法兰盘上的第三安装孔后延伸入所述出气管的进气端，通过所述第一法兰盘固定连接所述废气进气管，所述废气进气管的外径小于所述出气管的内径，所述废气进气管的出气端与所述出气管的进气端之间形成环形间隙，以形成负压发生器；所述主体加热结构内设置多个隔离片，所述隔离片沿周向设置在所述第二法兰盘和所述第三法兰盘之间，相邻的两个所述隔离片与所述出气管的外壁、所述外管的内壁、所述第三法兰盘的下表面和所述第二法兰盘的上表面共同组成气体加热空间，或共同组成气体扩散空间，所述气体加热空间与所述气体扩散空间相邻设置；所述吹扫气进气管的进气端通过管路连接至吹扫气源，所述吹扫气进气管的出气端通过所述第二法兰盘上的连接孔与所述气体加热空间连通；所述气体加热空间内设置加热元件；所述隔离片上设置多个第一通气孔，所述第一通气孔连通所述气体加热空间和所述气体扩散空间；所述第三法兰盘上设置多个第二通气孔，所述第二通气孔位于所述气体扩散空间处，所述第二通气孔连通所述气体扩散空间和所述气体传输空间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江亚笙半导体设备有限公司 一种加热吹扫装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD