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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
申请日：2022-02-03
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118235230A
主分类号：H01J49/00
分类号：H01J49/00;H01J49/04
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明的质量分析装置的一方案是能够执行扫描测量的质量分析装置，具备：临时事件时间决定部310，根据由用户指定的分析条件，决定分配给执行1次扫描测量的测量单位即扫描测量事件的临时事件时间；扫描速度选定部311，从多个候选中选定扫描速度，该扫描速度是1次扫描测量所需的测量时间不超过扫描测量事件的临时事件时间那样的扫描速度；事件时间确定部312，将扫描测量事件的临时事件时间修正为选定的扫描速度下的扫描测量的所需时间，来作为该扫描测量事件的事件时间；控制信息生成部313‑315，基于由事件时间确定部确定的事件时间，生成用于控制该装置的控制信息。
主权项：1.一种质量分析装置，是能够执行扫描测量的质量分析装置，其特征在于，具备：临时事件时间决定部，根据由用户指定的分析条件，决定分配给执行1次扫描测量的测量单位即扫描测量事件的临时事件时间；扫描速度选定部，从多个候选中选定扫描速度，该扫描速度是1次扫描测量所需的测量时间不超过所述扫描测量事件的临时事件时间那样的扫描速度；事件时间确定部，将所述扫描测量事件的临时事件时间修正为在所述扫描速度选定部中选定的扫描速度下的扫描测量的所需时间，来作为该扫描测量事件的事件时间；控制信息生成部，基于由所述事件时间确定部确定的事件时间，生成用于控制该装置的控制信息。
全文数据：
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