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申请/专利权人：南京埃米仪器科技有限公司
申请日：2024-05-24
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118224969A
主分类号：G01B9/02015
分类号：G01B9/02015;G01B11/24;G02B21/02
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明公开了一种干涉物镜，包括显微物镜和微球透镜，微球透镜设置在显微物镜上，微球透镜为采用玻璃、塑料或凝胶制成的一种透镜结构，微球透镜的工作面型为球面、非球面或自由曲面；微球透镜的外径为0.01mm~1mm，厚度为0.005mm~1mm。优点，本发明，将微球透镜的光学元件结构与干涉物镜相结合，以得到更精确的干涉条纹和测量精度；将普通干涉物镜在物面上XY方向的分辨率通过微球透镜的方式大幅度提高，可以提高2~10倍；其中微球透镜结构与不同常规干涉物镜可以互相匹配，不同的微球物镜针对常规干涉物镜均有2~10倍的放大效果。
主权项：1.一种干涉物镜，包括Michelson微球干涉物镜，其特征在于，还包括两个微球透镜（1），所述Michelson微球干涉物镜包括一路主光路和一路参考光路，所述主光路经过一个微球透镜（1）、分光镜（2）、至少一个显微物镜组（4）和一个镜筒透镜（5），最后由相机（6）接收；所述参考光路经过平面反射镜（3）进入另一个微球透镜（1）后，进入分光镜（2）、至少一个显微物镜组（4）和一个镜筒透镜（5），最后由相机（6）接收；所述的两个微球透镜（1）均通过微球透镜工装（14）分别装在Michelson微球干涉物镜上的主镜座（17）的末端和分光镜座（15）的末端；所述主镜座（17）和分光镜座（15）垂直设置；所述微球透镜的工作面型为球面、非球面或自由曲面；微球透镜的外径为0.2mm~5mm，厚度为0.1mm~2mm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京埃米仪器科技有限公司 一种干涉物镜
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