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申请/专利权人：环球晶圆股份有限公司
申请日：2020-12-31
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118223122A
主分类号：C30B29/06
分类号：C30B29/06;C30B15/10
优先权：["20200220 US 16/796,482","20200220 US 16/796,522"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本申请涉及形成套装坩埚组合件的方法，坩埚模具，以及套装坩埚。在一些实施例中，所述方法涉及具有通道网状结构的多孔坩埚模具，所述通道网状结构具有底部通道、从所述底部通道延伸的外部侧壁通道及从所述底部通道延伸的中心堰通道。可将粉浆添加到所述通道网状结构且可将所述粉浆的液体载剂汲取到所述模具中。可烧结所得生坯以形成所述坩埚组合件。
主权项：1.一种用于形成用于固持用于通过丘克拉斯基方法形成硅锭的硅熔融物的套装坩埚组合件的方法，所述方法包括：提供坩埚模具，所述模具包括：多孔本体及安置于所述多孔本体内的通道网状结构，所述通道网状结构包括：底部通道；外部侧壁通道，其从所述底部通道延伸；及内部堰通道，其从所述底部通道延伸，所述内部堰通道安置于所述外部侧壁通道的内侧；第一内部堰通道冒口，其与所述内部堰通道流体连通，所述内部堰通道冒口包括圆锥部分和导管，所述圆锥部分安置于所述导管上方且与所述导管流体连通；第二内部堰通道冒口，其与所述内部堰通道流体连通，所述第二内部堰通道冒口包括圆锥部分和导管，所述圆锥部分安置于所述导管上方且与所述导管流体连通；第一外部侧壁通道冒口，其与所述外部侧壁通道流体连通，所述第一外部侧壁通道冒口包括圆锥部分和导管，所述圆锥部分安置于所述导管上方且与所述导管流体连通；及第二外部侧壁通道冒口，其与所述外部侧壁通道流体连通，所述第二外部侧壁通道冒口包括圆锥部分和导管，所述圆锥部分安置于所述导管上方且与所述导管流体连通；及将粉浆引入1所述第一内部堰通道冒口、2所述第二内部堰通道冒口、3所述第一外部侧壁通道冒口和4所述第二外部侧壁通道冒口中的至少一者的所述圆锥中以使用所述粉浆填充所述底部通道、所述外部侧壁通道及所述内部堰通道，所述粉浆包括硅石及液体载剂；通过毛细管作用将所述液体载剂的至少一部分汲取到所述模具中以形成生坯；将所述生坯与所述坩埚模具分离；及烧结所述生坯以使所述生坯干燥且致密化以形成所述套装坩埚组合件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 环球晶圆股份有限公司 形成套装坩埚组合件的方法，坩埚模具，以及套装坩埚
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