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申请/专利权人：宣城先进光伏技术有限公司
申请日：2024-03-26
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118222983A
主分类号：C23C14/24
分类号：C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明公开了一种蒸镀设备，包括腔体、蒸发组件、第一温控件、基片台以及第二温控件，腔室包括连通的第一真空腔体和第二真空腔体，蒸发组件设置在第一真空腔体中；蒸发组件包括加热源和膜材，加热源用于对膜材加热以形成膜材蒸发粒子；第一温控件设置在第一真空腔体中，第一温控件用于调节第一真空腔体的温度；基片台设置在第二真空腔体中；第二温控件与基片台连接，第二温控件用于调节基片台的温度；加热源的温度大于第一真空腔体的温度，第一真空腔体的温度大于第二真空腔体的温度，第二真空腔体的温度大于基片台的温度；以此设置的温度梯度，可实现膜材蒸发粒子朝向基片台定向迁移。
主权项：1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：腔室1，所述腔室1包括连通的第一真空腔体11和第二真空腔体12；蒸发组件2，所述蒸发组件2设置在所述第一真空腔体11中，所述蒸发组件2包括加热源和膜材，所述加热源用于对所述膜材加热以形成膜材蒸发粒子；第一温控件3，所述第一温控件3设置在所述第一真空腔体11中，所述第一温控件3用于调节所述第一真空腔体11的温度；基片台4，所述基片台4设置在所述第二真空腔体12中；第二温控件5，所述第二温控件5与所述基片台4连接，所述第二温控件5用于调节所述基片台4的温度；所述加热源的温度大于所述第一真空腔体11的温度，所述第一真空腔体11的温度大于所述第二真空腔体12的温度，所述第二真空腔体12的温度大于所述基片台4的温度；所述基片台4的温度小于等于膜材蒸发粒子的凝结温度，所述第二真空腔体12的温度大于所述膜材蒸发粒子的凝结温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宣城先进光伏技术有限公司 一种蒸镀设备
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