申请/专利权人：无锡星微科技有限公司杭州分公司;无锡星微科技有限公司

申请日：2024-05-22

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN118231313A

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;G06V30/146;G06V30/148;G06V30/18;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.06.21#公开

摘要：本发明涉及晶圆传输及半导体制造技术领域，公开了一种带字符识别功能的预对准方法及系统，对所述边缘点线扫坐标进行圆拟合转换，获得OXY坐标系下的晶圆轮廓点坐标集合，根据OXY坐标系下的晶圆轮廓点坐标集合确定拟合圆的圆心坐标，根据拟合圆的圆心坐标确定晶圆缺口相对于拟合圆的圆心坐标转过的角度，以实现晶圆圆心与旋转台圆心预对准，根据晶圆缺口相对于拟合圆的圆心坐标转过的角度，将晶圆条码区域移动到相机视野下，使用读码相机读取晶圆ID码；本发明基于机器视觉技术，即应用数字图像处理技术实现晶圆预对准，同时也能够实现字符识别的操作，提高了预对准效率。

主权项：1.一种带字符识别功能的预对准方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1，旋转台带动晶圆旋转，线扫相机对旋转的晶圆进行扫描，获得晶圆旋转一周的采集图像；步骤S2，对所述采集图像进行阈值分割，获得二值化图像；步骤S3，遍历所述二值化图像的每行像素，根据像素灰阶变化获得晶圆的边缘点线扫坐标；步骤S4，对所述边缘点线扫坐标进行圆拟合转换，获得OXY坐标系下的晶圆轮廓点坐标集合；步骤S5，根据OXY坐标系下的晶圆轮廓点坐标集合确定拟合圆的圆心坐标，具体包括以下步骤：步骤S50，根据OXY坐标系下的晶圆轮廓点坐标集合预设拟合圆的圆心坐标与预设半径；步骤S51，确定晶圆缺口的边界点；步骤S52，利用最小二乘法计算OXY坐标系下的晶圆轮廓点坐标集合中每个晶圆轮廓点坐标与晶圆缺口的每个边界点之间的连接距离，选取所述连接距离中的最短连接距离；步骤S53，根据所述最短连接距离计算OXY坐标系下的每个晶圆轮廓点坐标的权重值；步骤S54，根据预设拟合圆的圆心坐标、OXY坐标系下的晶圆轮廓点坐标、预设半径、OXY坐标系下的每个晶圆轮廓点坐标的权重值定义最小二乘法目标函数；步骤S55，对最小二乘法目标函数优化得到拟合圆的圆心坐标；步骤S6，根据拟合圆的圆心坐标确定晶圆缺口相对于拟合圆的圆心坐标转过的角度，以实现晶圆圆心与旋转台圆心预对准；步骤S7，根据晶圆缺口相对于拟合圆的圆心坐标转过的角度，将晶圆条码区域移动到相机视野下，使用读码相机读取晶圆ID码。

全文数据：

权利要求：

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