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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日：2023-12-19
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118221059A
主分类号：B81B3/00
分类号：B81B3/00;G01P3/44
优先权：["20221219 DE 102022213827.9"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：一种微机械转速传感器和一种用于运行其的方法，微机械转速传感器具有沿着驱动方向驱动传感器元件振动的驱动设备和检测借助传感器元件所产生的测量信号的检测设备，检测设备具有第一和第二电极结构，用于平行于基本上垂直于驱动方向设置的检测方向地检测传感器元件的机械偏转或力作用，传感器元件以预给定的电压加载，不仅第一、而且第二电极结构沿着检测方向相对于传感器元件布置成在传感器元件与第一电极结构之间以及在传感器元件与第二电极结构之间分别形成可变电容，检测设备设置为对可变电容进行差分检测，可变电容分别具有静态电容份额和设置为相反变化的动态电容份额，微机械转速传感器配置成借助于预给定的电压的变化来求取静态电容份额。
主权项：1.一种具有传感器元件的微机械转速传感器400，其中，所述微机械转速传感器400具有用于沿着驱动方向驱动所述传感器元件进行振动的驱动设备和用于检测借助所述传感器元件所产生的测量信号的检测设备，其中，所述检测设备具有第一电极结构和第二电极结构，用于平行于基本上垂直于所述驱动方向设置的检测方向地检测所述传感器元件的机械偏转或力作用，其中，所述传感器元件以预给定的电压500‘来加载，并且，不仅所述第一电极结构、而且所述第二电极结构沿着所述检测方向相对于所述传感器元件布置成，使得在传感器元件与第一电极结构之间以及在传感器元件与第二电极结构之间分别形成有可变电容310、320、410、410‘，其中，所述检测设备设置为用于对所述可变电容310、320、410、410‘进行差分检测，其中，所述可变电容分别具有静态电容份额810和设置为用于相反变化的动态电容份额710，其特征在于，所述微机械转速传感器配置成，使得借助于所述预给定的电压500‘的变化来求取所述静态电容份额810。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 微机械转速传感器和用于运行微机械转速传感器的方法
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