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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日：2023-12-19
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118221061A
主分类号：B81B5/00
分类号：B81B5/00;G01P15/18;G01P15/125
优先权：["20221219 DE 102022213826.0"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明涉及一种微机械的z加速度传感器，具有：衬底10，其具有主延伸平面x，y；微机械的摇摆结构20，其平行于延伸平面布置在衬底上方并且能够沿垂直于延伸平面的第一方向z倾翻，其中，摇摆结构在第一子区域40中具有第一穿孔50，第一穿孔沿第一方向z穿过摇摆结构延伸，第一穿孔具有平行于主延伸平面的第一横截面，第一横截面具有至少为1：1的第一长宽比，和第二穿孔55，第二穿孔沿第一方向z穿过摇摆结构延伸，该第二穿孔具有第二横截面，第二横截面具有较长侧与较短侧的第二长宽比，其中，第一长宽比小于第二长宽比。本发明的核心在于，在重复的图案中，第一穿孔和第二穿孔交替地彼此并排地布置。
主权项：1.一种微机械的z加速度传感器，具有：衬底10，所述衬底具有主延伸平面x，y，微机械的摇摆结构20，所述摇摆结构平行于所述延伸平面布置在所述衬底上方并且能够在垂直于所述延伸平面的第一方向z上倾翻，其中，所述摇摆结构在第一子区域40中具有：-第一穿孔50，所述第一穿孔沿第一方向z穿过所述摇摆结构延伸，该第一穿孔具有平行于主延伸平面的第一横截面，所述第一横截面具有至少为1：1的第一长宽比，和-第二穿孔55，所述第二穿孔沿第一方向z穿过所述摇摆结构延伸，该第二穿孔具有第二横截面，所述第二横截面具有较长侧与较短侧的第二长宽比，-其中，所述第一长宽比小于所述第二长宽比，其特征在于，在重复的图案中，第一穿孔和第二穿孔交替地彼此并排地布置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 微机械的z加速度传感器
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