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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日：2022-12-19
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118226080A
主分类号：G01P15/125
分类号：G01P15/125;G01P1/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明提供一种电容式加速度计，每组电容组包括两个结构相同，且方向相反的电容结构，其中，第一引线和第二引线设置于对应的表面上，且分别位于容置槽的对侧，第一引线和第二引线的一端均延伸至容置槽的边缘处；固定极板形成于容置槽的槽底，且固定极板的一端延伸至容置槽的第一引线所在一侧的边缘处，并与第一引线的一端连接；可动极板相对，且间隔设置于固定极板背离基底一侧，可动极板呈悬臂状，且可动极板的一端延伸至容置槽的第二引线所在一侧的边缘处，并与第二引线的一端连接。本发明提供的电容式加速度计及其制备方法，不仅可以降低制作难度，而且可以在制作过程中更容易控制电极间距、改变电极形状、面积等，从而有利于消除边缘效应。
主权项：1.一种电容式加速度计，其特征在于，包括：基底，所述基底包括一组或多组轴向不同的表面组，每组表面组包括相互背离的两个表面，每个所述表面上形成有容置槽；至少一组电容组，至少一组所述表面组对应设置有一组所述电容组；每组所述电容组包括两个结构相同，且方向相反的电容结构，每组所述电容组中的两个所述电容结构分别设置于所述基底上对应的所述表面组中的两个所述表面的所述容置槽中；所述电容结构包括固定极板、可动极板、第一引线和第二引线，其中，所述第一引线和所述第二引线设置于对应的所述表面上，且分别位于所述容置槽的对侧，所述第一引线和所述第二引线的一端均延伸至所述容置槽的边缘处；所述固定极板形成于所述容置槽的槽底，且所述固定极板的一端延伸至所述容置槽的所述第一引线所在一侧的边缘处，并与所述第一引线的一端连接；所述可动极板相对，且间隔设置于所述固定极板背离所述基底一侧，并且所述可动极板呈悬臂状，且所述可动极板的一端延伸至所述容置槽的所述第二引线所在一侧的边缘处，并与所述第二引线的一端连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 电容式加速度计及其制备方法
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