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申请/专利权人：浙江大学
申请日：2024-03-28
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118226079A
主分类号：G01P15/097
分类号：G01P15/097
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明提出了一种MEMS谐振式加速度计，包括外边框、检测质量块、双端音叉谐振器和微型杠杆，外边框可限制检测质量块的位移；检测质量块通过固定锚点和双折叠支撑梁固定在外边框所在平面内；双端音叉谐振器通过耦合梁和固定锚点固定在外边框所在平面内，双端音叉谐振器由驱动信号激励，处于谐振状态；当有沿Y轴方向加速度输入，检测质量块受惯性力作用，在Y轴方向产生位移，惯性力传递至微型杠杆，经杠杆力放大后输入至双端音叉谐振器的振梁上，双端音叉谐振器将惯性力作用在沿振梁轴方向，形成轴向力，导致振梁的等效刚度发生变化，从而改变振梁的谐振频率；通过固定梳齿上的感应电极输出与加速度相关的频率信号，完成加速度的检测。
主权项：1.一种MEMS谐振式加速度计，其特征在于，包括外边框F201、两块检测质量块、双端音叉谐振器和微型杠杆，加速度计的平面结构以平行X轴方向的中心轴对称，所述外边框F201所在的平面为XY平面，所述外边框F201内固设有若干固定锚点A101，两块所述检测质量块均位于外边框F201内侧，两块检测质量块沿X轴向对称，且两块检测质量块的尺寸和质量均相同，所述外边框F201用于限制两块检测质量块的位移范围，两块所述检测质量块均通过支撑梁与若干固定锚点A101相连接，以使其能够保持在外边框F201内，两块所述检测质量块通过四个耦合梁一F202相连接，四个所述耦合梁一F202用于调节两块检测质量块在Z轴方向的扭摆模态，所述微型杠杆与两块检测质量块连接，所述双端音叉谐振器通过若干耦合梁二C101与若干固定锚点A101连接，以使双端音叉谐振器固定在外边框F201内，所述双端音叉谐振器用于实现对加速度的检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种差分谐振式MEMS加速度计
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