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申请/专利权人：南京邮电大学
申请日：2021-07-27
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN113624992B
主分类号：G01P15/093
分类号：G01P15/093;B81C1/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2021.11.26#实质审查的生效;2021.11.09#公开
摘要：本发明公开了一种电泵加速度传感器及其制备方法，所述加速度传感器包括质量块和悬空波导结构，质量块设置在悬空波导结构的中间位置；悬空波导结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、p型电极和n型电极，其中，量子阱层设置在n型氮化镓层上表面的一侧，硅衬底层支撑u型氮化镓层下方的两端。所述制备方法在硅衬底氮化物外延片上，利用光刻、ICP干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺制备悬空波导结构的氮化物微腔。本发明将光源与传感器件聚焦在一个氮化镓的悬空波导光学谐振腔上，制备的加速度传感器可以进行高密度的光电集成，具有更高的分辨率和灵敏度。
主权项：1.一种电泵加速度传感器，其特征在于，包括质量块（8）和悬空波导结构，所述质量块（8）设置在悬空波导结构的中间位置；所述悬空波导结构包括硅衬底层（1）、u型氮化镓层（2）、n型氮化镓层（3）、量子阱层（4）、p型氮化镓层（5）、p型电极（6）和n型电极（7），其中，所述n型氮化镓层（3）设置在u型氮化镓层（2）上，所述量子阱层（4）设置在n型氮化镓层（3）上表面的一侧，所述p型氮化镓层（5）设置在量子阱层（4）上，所述n型电极（7）设置在n型氮化镓层（3）上表面远离p型氮化镓层（5）的一侧，所述p型电极（6）设置在p型氮化镓层（5）的上表面，所述硅衬底层（1）支撑u型氮化镓层（2）下方的两端；所述n型氮化镓层（3）横截面的两端为圆盘，n型氮化镓层（3）横截面的中间为分别连接两端圆盘的长条形波导；所述硅衬底层（1）上设有2个锥形硅柱，2个锥形硅柱分别支撑在u型氮化镓层（2）两端圆盘的下方；n型氮化镓层（3）和u型氮化镓层（2）的横截面一致，量子阱层（4）与p型氮化镓层（5）的横截面一致；p型氮化镓层（5）横截面为圆盘和与圆盘一端连接的长条形波导。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京邮电大学 一种电泵加速度传感器及其制备方法
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