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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日：2020-08-06
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN114068347B
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2022.03.08#实质审查的生效;2022.02.18#公开
摘要：本发明实施例提供一种半导体制程检测系统及半导体制程检测方法，其中，半导体制程检测系统包括：第一获取模块，用于获取预设制程配方，其中，预设制程配方中包括预设制程配方参数；第一获取模块还用于，向匹配模块发起匹配请求，并将预设制程配方发送至匹配模块；匹配模块，用于基于匹配请求，获取生产制程配方，其中，生产制程配方包括：生产制程配方流程和生产制程配方参数；匹配模块还用于，判断生产制程配方流程是否正确，并判断生产制程配方参数是否满足预设制程配方参数。同时对生产制程配方中的制程过程和制程参数进行检验，通过更全面的检验方式保证制造出的晶圆具有较高的良率。
主权项：1.一种半导体制程检测系统，其特征在于，包括：第一获取模块，用于获取预设制程配方，其中，所述预设制程配方中包括预设制程配方参数；所述第一获取模块还用于，向匹配模块发起匹配请求，并将所述预设制程配方发送至所述匹配模块；所述匹配模块，用于基于所述匹配请求，获取生产制程配方，其中，所述生产制程配方包括：生产制程配方流程和生产制程配方参数；所述匹配模块至少包括：识别单元，用于识别所述生产制程配方流程中每个单一步骤包含的生产流程编号、路径名称和路径编号，其中，所述生产流程编号用于指示所述单一步骤的执行顺序，所述路径名称用于指示所述单一步骤的执行目的，所述路径编号用于指示所述单一步骤的执行对象；第一判断单元，用于通过所述生产制程配方流程中每个所述单一步骤包含的所述生产流程编号、所述路径名称和所述路径编号，判断所述生产制程配方流程是否正确；所述匹配模块还用于，判断所述生产制程配方参数是否满足所述预设制程配方参数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 半导体制程检测系统及半导体制程检测方法
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