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【发明授权】一种下沉式微小金属球体/球壳电镀装置及对微球进行电镀的方法_中国工程物理研究院激光聚变研究中心_202210793898.7 

申请/专利权人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心

申请日:2022-07-07

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN115161753B

主分类号:C25D17/16

分类号:C25D17/16;C25D21/10;C25D21/12;C25D3/12;C25D3/46;C25D3/38;C25D3/48

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.21#授权;2022.10.28#实质审查的生效;2022.10.11#公开

摘要:本发明公开了一种下沉式微小金属球体球壳电镀装置及对微球进行电镀的方法,包括:镀槽;阴极板,其设置在镀槽底部;竖直中空轴,其通过竖直中空轴运动控制单元放置在镀槽上方;增压单元,其与竖直中空轴的顶端连通;阳极固定壳体,其与竖直中空轴可拆卸连接;阳极,其连接在阳极固定壳体内;脉冲电源,其与阴极板和阳极连接;竖孔阵列圆柱体,其与阳极固定壳体连接且位于阳极的下方;竖孔阵列圆柱体的底部靠近并朝向所述阴极板;且竖直中空轴的末端与竖孔阵列圆柱体的顶部连通。采用该装置实现了待电镀微球的强制转动,滚动速度快且平稳,可在较大范围内连续调节待电镀微球转动速度;制备的金属球体球壳球形度好,表面粗糙度低。

主权项:1.一种下沉式微小金属球体球壳电镀装置,包括镀槽,以及设置在镀槽内的阴极板和阳极,其特征在于,还包括:竖直中空轴,其通过竖直中空轴运动控制单元放置在镀槽上方;增压单元,其与竖直中空轴的顶端连通;阳极固定壳体,其与竖直中空轴可拆卸连接;所述阳极连接在阳极固定壳体内;脉冲电源,其与阴极板和阳极连接;所述阴极板设置在镀槽底部;用于放置待电镀微球的竖孔阵列圆柱体,其与所述阳极固定壳体连接且位于阳极的下方;其中,所述竖孔阵列圆柱体的底部靠近并朝向所述阴极板;且所述竖直中空轴的末端与竖孔阵列圆柱体的顶部连通;所述阳极为圆环片状;所述阳极固定壳体的内部设置凹槽,凹槽的底部上固定阳极,且阳极的圆心与阳极固定壳体的中心重合;所述阳极固定壳体的凹槽的内壁设置有螺纹,所述竖孔阵列圆柱体通过螺纹与阳极固定壳体连接,且所述竖孔阵列圆柱体的顶部与凹槽底部上固定的阳极之间留有间隙,且该间隙与所述竖直中空轴的末端连通;所述竖直中空轴运动控制单元为顶置式电子搅拌器,其搅拌轴与竖直中空轴连接,并带动竖直中空轴、阳极固定壳体、阳极、竖孔阵列圆柱体一起运动,并控制阴极板平面与竖孔阵列圆柱体的下端面保持固定距离。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种下沉式微小金属球体/球壳电镀装置及对微球进行电镀的方法

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