申请/专利权人:泰科电子(上海)有限公司;泰科电子(苏州)有限公司
申请日:2021-01-29
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN114808057B
主分类号:C25D5/08
分类号:C25D5/08;C25D21/12;C25D17/12;C25D17/02
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.21#授权;2022.08.16#实质审查的生效;2022.07.29#公开
摘要:提供一种电镀装置和电镀系统。电镀装置包括:电镀槽,适用于容纳电镀液,作为阴极的、将被电镀的工件至少部分地浸没在所述电镀液中;第一阳极,设置在所述电镀槽中;以及喷液装置。喷液装置包括:主体部,设有至少一个向所述主体部内输送电镀液的入口;以及多个喷嘴,安装在所述主体部上,至少一部分所述喷嘴设置成从所述喷嘴喷出的电镀液的流动方向与所述第一阳极和阴极形成的电力线的方向大致平行。喷液装置的至少一部分喷嘴可以向作为阴极的将被电镀的工件强力喷射具有一定流速的电镀液,从所述喷嘴喷出的电镀液的流动方向与所述第一阳极和阴极形成的电力线的方向大致平行,可以提高电镀效率。
主权项:1.一种电镀装置(100),包括:电镀槽(1),适用于容纳电镀液,作为阴极的、将被电镀的工件(200)至少部分地浸没在所述电镀液中;第一阳极(2),设置在所述电镀槽中;以及喷液装置(3),包括:主体部(31),设有至少一个向所述主体部内输送电镀液的入口;以及多个喷嘴(32),安装在所述主体部上,至少一部分所述喷嘴设置成从所述喷嘴喷出的电镀液的流动方向与所述第一阳极和阴极形成的电力线的方向平行,其中,所述第一阳极设置在所述喷液装置和所述工件之间,在所述第一阳极上设有多个第一通孔(21),从所述喷嘴喷出的一部分电镀液穿过所述第一通孔流动,所述工件布置在料带上,所述料带设置成穿过所述电镀槽水平移动,所述多个喷嘴包括多个第一喷嘴(321,322),从所述多个第一喷嘴(321,322)喷出的电镀液的流动方向与所述料带的移动方向垂直,所述电镀槽的两个相对的侧壁上设有溢流口(11),所述料带穿过所述溢流口移动。
全文数据:
权利要求:
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