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申请/专利权人：科磊股份有限公司
申请日：2019-04-12
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN111971549B
主分类号：G01N21/47
分类号：G01N21/47;G01N21/41
优先权：["20180427 US 62/663,436","20180626 US 16/018,355"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2021.04.02#实质审查的生效;2020.11.20#公开
摘要：本发明揭示一种用于分析样本的系统，其包含：照明源，其中多个传输光纤经光学耦合到所述照明源；及检测器，其中多个接收光纤经光学耦合到所述检测器。所述系统进一步包含经耦合到所述多个传输光纤的相应者及所述多个接收光纤的相应者的多个探针。所述多个探针经配置以照明所述样本的表面的相应部分，且经配置以接收从所述样本的所述表面的所述相应部分反射、折射或辐射的照明。所述系统可进一步包含经配置以将所述多个传输光纤的相应者光学耦合到所述照明源及或经配置以将所述多个接收光纤的相应者光学耦合到所述检测器的一或多个开关及或分离器。
主权项：1.一种用于分析样本的系统，其包括：计量工具，其包括：照明源；第一开关，其经光学耦合到所述照明源，所述第一开关包含多个第一子开关；多个传输光纤，其经耦合到所述第一开关，其中所述第一开关经配置以将所述照明源光学耦合到所述多个传输光纤的至少一个传输光纤；检测器；第二开关，其经光学耦合到所述检测器，所述第二开关包含多个第二子开关；多个接收光纤，其经耦合到所述第二开关，其中所述第二开关经配置以将所述检测器光学耦合到所述多个接收光纤的至少一个接收光纤；多个探针，其经耦合到所述多个传输光纤的相应者及所述多个接收光纤的相应者；多个多端子连接器，其中每个多端子连接器包含至少三个端子，其中第一端子被连接到相应的传输光纤，第二端子被连接到相应的接收光纤，且第三端子被连接到相应的探针，所述多个探针经配置以照明所述样本的表面的相应部分，且经配置以接收来自所述样本的所述表面的所述相应部分的照明；及一或多个光学元件，其与所述至少一个传输光纤或所述至少一个接收光纤中的至少一者串联，所述一或多个光学元件经配置以提供主动倾斜补偿并从而减少样本翘曲对所述至少一个传输光纤或所述至少一个接收光纤中的至少一者内的耦合效率的影响。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 具有多个光学探针的多点分析系统
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