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申请/专利权人：宁波齐芯半导体科技有限公司
申请日：2023-11-23
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221185835U
主分类号：B24B7/22
分类号：B24B7/22;B24B7/07;B24B41/06;B24B55/12;B24B47/06;B24B47/20
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射设备靶材的打磨装置，包括打磨台、用于对靶材进行固定的定位部件以及用于对废料进行处理的收集部件，所述定位部件包括开设于打磨台顶部的调节槽、与调节槽相连的调节块、与调节块相连的第一螺杆、与调节块顶部相连的第一支座、与打磨台顶部一侧相连的第二支座、与第一支座相连的第一转轴以及与第二支座相连的第二转轴，本实用新型通过设置打磨台、定位部件以及收集部件，解决了现有的打磨装置在使用的时候，虽然可以对靶材进行固定，可以对靶材进行打磨，但是在固定不同长度靶材时，需要手动拧动定位销固定第二支座，操作较为麻烦，而且打磨时会产生废料污染打磨环境，从而导致实用性降低的问题。
主权项：1.一种磁控溅射设备靶材的打磨装置，包括打磨台1、用于对靶材进行固定的定位部件以及用于对废料进行处理的收集部件，其特征在于：所述定位部件包括开设于打磨台1顶部的调节槽21、与调节槽21相连的调节块22、与调节块22相连的第一螺杆23、与调节块22顶部相连的第一支座24、与打磨台1顶部一侧相连的第二支座25、与第一支座24相连的第一转轴26、与第二支座25相连的第二转轴27、分别与第一转轴26和第二转轴27一端相连的固定筒28、与第一螺杆23外侧相连的蜗轮29、与蜗轮29相连的蜗杆30、分别与蜗杆30两端相连的连接板31、与蜗杆30一端相连的第一电机32以及用于提高靶材稳定性的夹持部件，所述第一螺杆23与调节块22螺接，所述第一螺杆23与打磨台1转动连接，所述调节块22与调节槽21滑动连接，所述蜗轮29与蜗杆30啮合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波齐芯半导体科技有限公司 一种磁控溅射设备靶材的打磨装置
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