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申请/专利权人：营口金辰机械股份有限公司
申请日：2023-10-30
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221201194U
主分类号：H01L31/18
分类号：H01L31/18;H01L31/0216;H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本申请提供一种制备二氧化硅膜层的装置及太阳能电池生产设备，涉及太阳能电池生产设备技术领域。该制备二氧化硅膜层的装置可以简化制备二氧化硅膜层的工艺，还可以降低生产成本。该制备二氧化硅膜层的装置包括：槽体、进气管路和加热组件；其中，槽体具有容纳腔，容纳腔用于容置待制备物品；进气管路连接在槽体上，并且与容纳腔连通；加热组件设置在槽体上，用于对通入容纳腔内的气体进行加热。本申请的制备二氧化硅膜层的装置用于在硅片上制备二氧化硅膜层。
主权项：1.一种制备二氧化硅膜层的装置，其特征在于，包括：槽体11，所述槽体11具有容纳腔111，所述容纳腔111用于容置待制备物品；进气管路13，所述进气管路13连接在所述槽体11上，并且与所述容纳腔111连通；加热组件14，所述加热组件14设置在所述槽体11上，用于对通入所述容纳腔111内的气体进行加热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 营口金辰机械股份有限公司 一种制备二氧化硅膜层的装置及太阳能电池生产设备
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