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申请/专利权人：北京邮电大学;中国电子科技集团公司第五十四研究所;喀什地区电子信息产业技术研究院
申请日：2024-03-20
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118249794A
主分类号：H03K17/51
分类号：H03K17/51;H01H59/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明公开了一种基于复合梁的单刀四掷MEMS开关，属于射频前端器件技术领域。主要结构为输入微带线，渐变匹配结构，中间导通结构，输出微带线，玻璃基衬底，金属电极，梁底座与悬梁共同组成的复合梁，金属地组成。此开关属于欧姆接触式开关，复合梁结构包括二氧化硅材料悬梁和金材料梁底座。各支路开关通过直流电压驱动金属电极，可以控制复合梁的悬停状态与接触渐变匹配结构与输出传输线的贴合状态，分别对应着本路开关的断开状态与导通状态。本发明可以在太赫兹波段140GHz频率以下实现高隔离度：微秒量级的响应时间，且不易发生破坏性形变；结构简洁、制造方便，能够通过玻璃基工艺进行制造。
主权项：1.一种基于复合梁的单刀四掷MEMS开关，包括石英玻璃衬底20和金属地26；其特征在于，还包括渐变匹配结构2，输入微带线1，输出微带线3，4，6，7和复合梁5；所述金属地26位于石英玻璃衬底20的下表面；金属电极固定在复合梁动作臂的正下方，输入微带线1、输出微带线3，4，6，7和渐变匹配结构2均固定于石英玻璃衬底20的上表面；输入微带线1与渐变匹配结构2的输入端连接；渐变匹配结构2的输出端通过复合梁5与对应的输出微带线3，4，6，7连接；所述复合梁包括悬梁和梁底座21，22，23，24，25；悬梁的各支梁固定臂固定在对应的梁底座上，各支梁连接臂和动作臂架空，架空的支梁中间位置处固定有中间导通结构8,9,10,11，且中间导通结构8,9,10,11位于输出微带线3，4，6，7和渐变匹配结构2二者接近处的正上方，用于闭合状态下连接两者；每一中间导通结构32与对应两个金属电极，且两个金属电极分别位于对应的中间导通结构32左侧和右侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京邮电大学;中国电子科技集团公司第五十四研究所;喀什地区电子信息产业技术研究院 一种基于复合梁的单刀四掷MEMS开关
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