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申请/专利权人：上海玄亨科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种静电吸盘的绝缘体主体部的制造方法，包括：步骤S1，制备陶瓷前驱体：将草酸溶液加入铝盐和稀土金属盐溶液中，调节pH至7‑9，搅拌，过滤得到沉淀物；将所述沉淀物洗涤、干燥、煅烧得到陶瓷前驱体；步骤S2，制备陶瓷素坯：将所述陶瓷前驱体与烧结助剂、胶合剂、可塑剂混合流延成型，印刷电极，并脱胶处理得到陶瓷素坯；步骤S3，烧结所述陶瓷素坯，得到所述静电吸盘绝缘体主体部。本发明制备的陶瓷前驱体达到亚微米级大小，在氧化铝主相中均相引入了第二相稀土金属氧化物，并经低温二步烧结共同烧制成型，形成高度致密的静电吸盘的绝缘体主体部。
主权项：1.一种静电吸盘的绝缘体主体部的制造方法，其特征在于，包括：步骤S1，制备陶瓷前驱体：将草酸溶液加入铝盐和稀土金属盐溶液中，调节pH至7-9，搅拌，过滤得到沉淀物；将所述沉淀物洗涤、干燥、煅烧得到陶瓷前驱体；步骤S2，制备陶瓷素坯：将所述陶瓷前驱体与烧结助剂、胶合剂、可塑剂混合流延成型，印刷电极，并脱胶处理得到陶瓷素坯；步骤S3，烧结所述陶瓷素坯，得到所述绝缘体主体部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海玄亨科技股份有限公司 静电吸盘及其绝缘体主体部的制造方法
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