申请/专利权人：太仓迪科力科技有限公司

申请日：2024-04-29

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN118238196A

主分类号：B26D1/15

分类号：B26D1/15;B26D7/26;B26D7/06;B26D7/14

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.06.25#公开

摘要：本发明公开了一种基于半导体制程用揭膜胶带的分条设备及方法，涉及半导体生产设备技术领域，包括分切机台，所述分切机台上端两侧分别固定安装有支撑座一和支撑座二，所述支撑座一和支撑座二之间转动安装有分切机构，所述支撑座一和支撑座二上端通过横梁件固定连接，所述横梁件上设置有用于驱动调节部件的调节驱动；所述分切机构包括转动连接在调节部件上的轴部件，且所述轴部件一端与驱动机箱内伺服电机输出端相连，所述轴部件上可拆卸安装有分切刀，所述分切刀用于对揭膜胶带进行分切；本发明对于分切刀位置的调节灵活方便，不需要对分切刀进行反复的拆装，极大的减少胶膜分切类型改变时的工作量，提高分切加工的效率。

主权项：1.一种基于半导体制程用揭膜胶带的分条设备，包括分切机台（1），所述分切机台（1）上端两侧分别固定安装有支撑座一（2）和支撑座二（3），所述支撑座一（2）和支撑座二（3）之间转动安装有分切机构，所述分切机构用于对揭膜胶条进行分切，所述分切机台（1）上端固定安装有驱动机箱（4），所述驱动机箱（4）内安装有用于驱动分切机构工作的伺服电机；所述支撑座一（2）和支撑座二（3）之间的一侧固定安装有进料台板（11）和进料辊部件（10），所述支撑座一（2）和支撑座二（3）之间的另一侧固定安装有出料台板（14），所述进料辊部件（10）用于输送揭膜胶条；其特征在于，所述支撑座一（2）和支撑座二（3）上均安装有调节部件（8），所述调节部件（8）用于调节分切机构的高度；所述支撑座一（2）和支撑座二（3）上端通过横梁件（5）固定连接，所述横梁件（5）上设置有用于驱动调节部件（8）的调节驱动（9）；所述分切机构包括转动连接在调节部件（8）上的轴部件（6），且所述轴部件（6）一端与驱动机箱（4）内伺服电机输出端相连，所述轴部件（6）上可拆卸安装有分切刀（7），所述分切刀（7）用于对揭膜胶带进行分切；所述轴部件（6）包括：分切套管（61），其两端分别固定连接有端盖一（62）和端盖二（63）；分切连接轴（64），其设置有两个且分别固定连接在端盖一（62）和端盖二（63）远离分切套管（61）一侧的中心位置；所述分切连接轴（64）用于与驱动机箱（4）内伺服电机输出端相连；滑动套（67），其设置有多组且套设在分切套管（61）外周，所述滑动套（67）外周固定设置有呈环状的切刀支座（68），所述切刀支座（68）用于安装分切刀（7）；所述分切套管（61）管壁上设置有若干导向槽（611），所述导向槽（611）处滑动连接有导向滑动调节块（66），所述滑动调节块（66）一端与滑动套（67）固定连接，其另一端伸入到分切套管（61）内侧，所述滑动调节块（66）位于分切套管（61）内侧的部分螺纹贯穿连接有调节螺杆（65），所述调节螺杆（65）一端转动连接在端盖一（62）上，其另一端贯穿端盖二（63）且与端盖二（63）转动连接；位于分切套管（61）两端的切刀支座（68）安装定位导向机构，定位导向机构包括旋转导向环；通过轴部件（6）上的旋转导向环与分切刀（7）相互配合，使得在对切刀位置进行调整时，同时对旋转导向环也进行位置调整；以及在进行分切工艺中，不仅对不同类型胶膜进行分切，还能对不同类型胶膜分切时固定导向。

全文数据：

权利要求：

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