申请/专利权人:杭州海康微影传感科技有限公司
申请日:2024-03-22
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN118243263A
主分类号:G01L1/20
分类号:G01L1/20;G01L5/00;G01L9/02;B81B7/02;B81B7/00
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.25#公开
摘要:本发明提供一种压力传感模组、压力传感器及电子设备,涉及微电子机械技术领域,用于降低外界电磁环境干扰对压敏电阻性能的影响,从而提高压力传感器的精度。压力传感模组包括:第一基板结构、第二基板结构和焊环;第一基板结构包括压敏膜和设置于压敏膜的一侧的多个压敏电阻;多个压敏电阻相互电连接;第二基板结构位于第一基板结构的一侧,并与第一基板结构连接;焊环位于第一基板结构和第二基板结构之间,焊环连接第一基板结构和第二基板结构;焊环、第一基板结构和第二基板结构形成第一腔体,压敏膜和多个压敏电阻位于第一腔体内;焊环通过第一接地部件接地。
主权项:1.一种压力传感模组,其特征在于,包括:第一基板结构,包括压敏膜和设置于所述压敏膜的一侧的压敏电阻;第二基板结构,位于所述第一基板结构的一侧;焊环,所述焊环位于所述第一基板结构和所述第二基板结构之间,所述焊环连接所述第一基板结构和所述第二基板结构;所述焊环、所述第一基板结构和所述第二基板结构形成第一腔体,所述压敏膜和所述多个压敏电阻位于所述第一腔体内;第一接地部件,所述焊环通过所述第一接地部件接地。
全文数据:
权利要求:
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