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申请/专利权人：武汉衡惯科技发展有限公司
申请日：2023-12-14
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118243961A
主分类号：G01P15/125
分类号：G01P15/125;B81B7/02
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明提供一种MEMS电容式加速度传感器及其制备方法，该加速度传感器包括包括敏感结构层和基体层，所述基体层包括基底、锚区和第一极板，所述锚区和第一极板固定于所述基底上；所述敏感结构层包括第二极板、环形结构梁、动梳齿单元和定梳齿单元，所述环形结构梁通过所述锚区支撑于所述基底上，所述第二极板可动地连接在所述环形结构梁上并且与所述第一极板平行相对。本发明提供的MEMS电容式加速度传感器，集成了平行板电容结构和梳齿电容结构，采用平行板电容和梳齿电容两种检测方式共同作用，能够有效提高器件的灵敏度和检测结果的可靠性。
主权项：1.一种MEMS电容式加速度传感器，其特征在于，包括敏感结构层和基体层；所述基体层包括基底、锚区和第一极板，所述锚区和第一极板固定于所述基底上；所述敏感结构层包括第二极板、环形结构梁、动梳齿单元和定梳齿单元，所述环形结构梁通过所述锚区支撑于所述基底上，所述第二极板可动地连接在所述环形结构梁上并且与所述第一极板平行相对。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉衡惯科技发展有限公司 MEMS电容式加速度传感器及其制备方法
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