龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：上海帝迪集成电路设计有限公司
申请日：2023-12-01
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221238973U
主分类号：G01P15/125
分类号：G01P15/125;B81B7/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本实用新型公开了一种三轴电容式MEMS加速度计，包含XY轴加速度计质量块、XY轴加速度计弹簧系统、Z轴质量块、Z轴加速度计弹簧系统和硅衬底。本实用新型XY轴加速度计质量块、Z轴质量块和硅衬底由内至外依次嵌套设计在同一平面内，XY轴加速度计质量块、Z轴质量块和硅衬底之间通过弹簧系统连接，将XY轴MEMS加速度计和Z轴MEMS加速度计制作在单一平面内，制作简单、成本低；并且这样的设计结构，在相同的面积下可测电容值更大，质量块更大、噪声更低。
主权项：1.一种三轴电容式MEMS加速度计，其特征在于：包含XY轴加速度计质量块、XY轴加速度计弹簧系统、Z轴质量块、Z轴加速度计弹簧系统和硅衬底，XY轴加速度计质量块设置在Z轴质量块内侧并且XY轴加速度计质量块通过XY轴加速度计弹簧系统与Z轴质量块连接，Z轴质量块设置在硅衬底内侧并且Z轴质量块通过Z轴加速度计弹簧系统与硅衬底连接，XY轴加速度计质量块上设置有沿着Y轴方向设置的X轴可移动电容片，Z轴质量块上设置有与X轴可移动电容片位置对应的X轴固定电容片，XY轴加速度计质量块上设置有沿着X轴方向设置的Y轴可移动电容片，Z轴质量块上设置有与Y轴可移动电容片位置对应的Y轴固定电容片，Z轴质量块底部设置有Z轴可移动电容片，硅衬底底部设置有与Z轴可移动电容片对应的Z轴固定电容片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海帝迪集成电路设计有限公司 一种三轴电容式MEMS加速度计
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号