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MEMS系统及信号处理电路 

申请/专利权人:杭州士兰微电子股份有限公司

申请日:2021-12-31

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN114222232B

主分类号:H04R19/04

分类号:H04R19/04;H04R3/04

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.28#授权;2022.04.08#实质审查的生效;2022.03.22#公开

摘要:本发明提供了一种MEMS系统及信号处理电路,电容式MEMS传感模块的MEMS电容在外部的声音信号的激励下产生电容变化量,电容式MEMS传感模块连接偏置电压生成模块以接入偏置电压,并根据电容变化量及偏置电压输出表征声音信号的第一电压信号;利用缓冲模块接入第一电压信号并进行阻抗转换,输出第二电压信号;利用增益调节模块接入第二电压信号,并对第二电压信号进行增益调节后反馈至电容式MEMS传感模块。本发明通过增益调节模块可以实现电容式MEMS传感模块的灵敏度的正负增益调节,扩大了MEMS系统的应用场景;同时,通过控制增益调节模块和缓冲模块的等效输入噪声可以大大降低灵敏度调节过程中的信噪比损失,在增益调节过程维持系统的信噪比固定。

主权项:1.一种MEMS系统,其特征在于,包括:偏置电压生成模块,用于生成偏置电压;电容式MEMS传感模块,包括MEMS电容,所述MEMS电容在外部的声音信号的激励下产生电容变化量,所述电容式MEMS传感模块连接所述偏置电压生成模块,以接入所述偏置电压,并根据所述电容变化量及所述偏置电压输出表征所述声音信号的第一电压信号,所述第一电压信号通过一个输出端输出;缓冲模块,连接所述电容式MEMS传感模块的输出端,以接入所述第一电压信号并进行阻抗转换,输出第二电压信号;增益调节模块,连接所述缓冲模块的输出端,以接入所述第二电压信号,并对所述第二电压信号进行增益调节后经过第二耦合模块反馈至所述偏置电压生成模块的输出端,所述电容式MEMS传感模块、所述缓冲模块、所述增益调节模块及所述第二耦合模块构成反馈回路以调整所述电容式MEMS传感模块的灵敏度;当所述反馈回路为正反馈时,实现所述电容式MEMS传感模块的正增益调节,当所述反馈回路为负反馈时,实现所述电容式MEMS传感模块的负增益调节。

全文数据:

权利要求:

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